当前位置: 首页 » 技术方案 » 前沿科技 » 正文

基础研究:西安光机所等离子体器件研发取得突破性进展


  来源: 西安光机所 时间:2020-01-14 编辑:清风
分享到:



低温等离子体是做什么用的呢?据介绍,低温等离子体在生物医学、材料制备、薄膜沉积、纳米颗粒制造等领域有着重要的应用价值。近几十年来,在低温等离子体技术方面,为了提高等离子体射流工作效率,人们一直致力于研发大面积均匀弥散等离子体射流。等离子体阵列是一种常见的方法,在绝大多数情况下,这些阵列放电单元采用介质阻挡放电(DBD)结构,产生的等离子体射流截面尺寸局限于平方毫米量级。由于在各放电单元之间设置了电极和介质阻挡层,射流之间的间距达到几毫米甚至几十毫米。这种结构特征在很大程度上降低了等离子体射流的均匀性,极易导致样品表面处理不均或不全,出现遗漏工误,从而降低等离子体射流的工作效率和工作质量。另外,以廉价的氩气作为工作气体,在类似于DBD放电的结构中,极易形成细丝,阻碍均匀弥散等离子体的形成。


低成本、低功耗、大面积、均匀弥散等离子体射流的研发,一直是摆在人们面前悬而未决的一个极具挑战性的难题。


针对上述科学和技术问题,汤洁研究员课题组提出了一种伏安特性调制增强气体放电理论及方法,并基于这一理论或方法,突破传统等离子体射流体积尺寸小,均匀性差,工作效率低的局限,设计研发出一种大气常压介质阻挡放电增强型直流交替电极低温等离子体射流阵列。在该项工作中,首次提出并利用直流辉光放电自身的伏安特性来增强等离子体射流的体积、化学活性,以及工作效率。


解决了在直流辉光放电中同时获得低成本、低功耗、大面积、均匀弥散等离子体射流的瓶颈问题。该项研究成果将为低温等离子体技术应用的推广起到重要的促进作用。

关键词:西安光机所 基础研究 等离子体器件    浏览量:1164

声明:凡本网注明"来源:仪商网"的所有作品,版权均属于仪商网,未经本网授权不得转载、摘编使用。
经本网授权使用,并注明"来源:仪商网"。违反上述声明者,本网将追究其相关法律责任。
本网转载并注明自其它来源的作品,归原版权所有人所有。目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。如有作品的内容、版权以及其它问题的,请在作品发表之日起一周内与本网联系,否则视为放弃相关权利。
本网转载自其它媒体或授权刊载,如有作品内容、版权以及其它问题的,请联系我们。相关合作、投稿、转载授权等事宜,请联系本网。
QQ:2268148259、3050252122。


让制造业不缺测试测量工程师

最新发布
行业动态
技术方案
国际资讯
仪商专题
按分类浏览
Copyright © 2023- 861718.com All rights reserved 版权所有 ©广州德禄讯信息科技有限公司
本站转载或引用文章涉及版权问题请与我们联系。电话:020-34224268 传真: 020-34113782

粤公网安备 44010502000033号

粤ICP备16022018号-4