对于我国工业传感器与国外制造商的对比,有人士表示科研开发上要落后10年,则在生产技术上要落后15年。近年建立了传感器技术国家重点实验室、微米/纳米国家重点实验室、机器人国家重点试验室等研发基地,初步建立了敏感元件和传感器产业,目前我国已有1,688家从事传感器的生产和研发的企业。国内传感器制造业人士正大力投入资金,以增加品种、提高质量和经济效益为目标,加速传感器产业化,争取近年内使中国市场上国产的传感器和仪表元器件的品种占有率达到70~80%、高档产品达到60%以上。
1:沈阳仪表科学研究院
时间:1995年经中国经济计划委员会批准。
传感器国家工程研究中心设在沈阳仪表科学研究院,该中心是中国唯一从事传感器技术工程化科研和生产试验的机构。专业开展MEMS技术、硅微芯片及力/热/磁传感器、传感器等基础工艺技术、传感器工程化技术研究。拥有多条可柔性组合的硅基力敏、微机电传感器(MEMS)、变送器及相关仪表的专业生产线,配备传感器CAD设计中心和传感器可靠性和检测试验中心、专用工艺装备和仪器200多台及配套的标准的生产现场和实验室的基础设施。掌握和具备从传感器敏感芯片到传感器及相关仪表、整机产品的设计、加工、封装、测试及快速研发和批量生产的自主核心技术和能力。主要的传感器产品:力/热/磁传感器,变送器等。
2:深圳清华大学研究院
时间:1996年12月。