激光干涉仪是一种用于测量光程差或表面形貌的仪器，利用激光的干涉现象来实现高精度的测量。以下是激光干涉仪的基本原理、作用和使用方法：

原理：

1. 干涉现象：激光光束在不同路径下传播后再相遇，会发生干涉现象，干涉条纹的位置和间距与光程差有关。
2. 干涉仪构成：激光干涉仪通常由激光器、分束器、反射镜、待测样品和光学探测器组成。
3. 测量原理：将激光分成两束，分别经过不同的路径，再汇聚在探测器上，根据探测器上的干涉条纹变化来测量光程差或表面形貌。

作用：

1. 表面形貌测量：可用于测量光滑表面的形貌，如薄膜厚度、表面粗糙度等。
2. 位移测量：可用于测量物体的微小位移或振动。

使用方法：

1. 调试仪器：根据实验要求调试激光干涉仪，包括激光器的调节、光路的对准等。
2. 样品准备：准备待测样品，确保表面光滑、清洁。
3. 测量操作：将激光光束分成两束，分别照射到待测样品表面，并通过反射后的光束再次汇聚到探测器上。
4. 数据处理：通过探测器上的干涉条纹变化，计算出光程差或表面形貌的信息。
5. 结果分析：对测量结果进行分析和解释，得出结论。

使用激光干涉仪需要一定的光学和实验技术，操作时需注意避免干扰源和环境因素对测量结果的影响。