1.4 聚焦离子束/电子束双束显微镜
研究目标：针对集成电路芯片设计修正和失效分析、样品3D重构、透射电镜样品制备等微纳加工技术需求，突破高分辨率聚焦离子束、高分辨率场发射电子束获得等核心技术，开发具有自主知识产权、性能稳定可靠、核心部件全部国产化的聚焦离子束/电子束双束显微镜，开发相关软件，开展工程化开发、应用示范和产业化推广。
考核指标：液态镓离子源聚焦离子束扫描分辨率≤5nm@30kV(双束重合点)，能量≥30kV，束流≥65nA；聚焦电子束分辨率≤1.2nm@1kV(双束重合点)，能量≥30kV，束流≥50nA；最大样品直径≥150mm，Z向高度调节范围≥40mm；具备聚焦离子束材料刻蚀、沉积和透射电镜样品制备、3D 结构重构能力；具备聚焦离子束加工过程中扫描电子束实时观察能力。项目完成时产品应通过可靠性测试，平均故障间隔时间≥168小时，技术就绪度达到8级。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量；形成批量生产能力，明确项目验收时销售数量和销售额。
1.5 高性能流式细胞分选仪
研究目标：针对生物和医学等行业血液和细胞分析需求，突破单细胞多色荧光高效分光技术、百万量级细胞数据处理技术、微流控细胞分选技术等关键技术，开发具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件全部国产化的高性能流式细胞分选仪，开发相关软件和数据库，实现对细胞、荧光微球等生物颗粒的分析、计数与分选。开展工程化开发、应用示范和产业化推广。
考核指标：激光器波长数≥4；激发荧光波长数≥30；荧光检测灵敏度：FITC≤80MESF，PE≤30MESF；细胞检测和分析速度≥70000细胞/秒；颗粒检测大小0.2μm-50μm。项目完成时产品应通过可靠性测试，平均故障间隔时间≥5000小时，技术就绪度达到8级。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量；形成批量生产能力，明确项目验收时销售数量和销售额。
