当前位置: 首页 » 行业聚焦 » 行业动态 » 正文

兵器214所发布12款高性能MEMS惯性传感器


  来源: 中国电子报 时间:2019-11-26 编辑:仪商清风
分享到:



11月24日,第三届中国MEMS智能传感器产业发展高峰论坛在安徽蚌埠召开。论坛期间,中国兵器工业集团有限公司第二一四研究所召开了“MEMS成套工艺及高性能惯性传感器”产品发布会,正式推出了“基于微晶玻璃键合的SOI体硅工艺”“基于TSV-SOI的体硅工艺”等4套MEMS工艺体系。该工艺具有全硅低应力、亚微米高精度和晶圆级高真空封装等三大技术特色,可为用户提供一站式、全方位技术服务。



同时,该所还发布了12款高性能MEMS惯性传感器。此次发布的12款高性能MEMS惯性传感器包含高性能MEMS陀螺仪、高性能MEMS加速度计和特种装置用大量程MEMS开关三类。其中高性能MEMS陀螺仪产品4款,量程覆盖范围400°/s-4000°/s,零偏稳定性(10s平滑)(1σ)优于1°/h;高性能MEMS加速度计3款,量程覆盖范围±2g-±100g,零偏稳定性(10s平滑)(1σ)小于20µg;特种装置用大量程MEMS开关产品5款,量程覆盖5000g、20000g及以上。此次发布的12款高性能MEMS惯性传感器,其敏感结构及配套ASIC电路,为全国产化自主设计和生产,产品通过了中国仪器仪表学会组织的新产品鉴定,具有动态范围大、精度高、高量程、抗高过载能力强等优点。


关于惯性传感器


惯性传感器是一种传感器,主要是检测和测量加速度、倾斜、冲击、振动、旋转和多自由度(DoF)运动,是解决导航、定向和运动载体控制的重要部件。


关键词:惯性传感器 测量 仪器仪表    浏览量:643

声明:凡本网注明"来源:仪商网"的所有作品,版权均属于仪商网,未经本网授权不得转载、摘编使用。
经本网授权使用,并注明"来源:仪商网"。违反上述声明者,本网将追究其相关法律责任。
本网转载并注明自其它来源的作品,归原版权所有人所有。目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。如有作品的内容、版权以及其它问题的,请在作品发表之日起一周内与本网联系,否则视为放弃相关权利。
本网转载自其它媒体或授权刊载,如有作品内容、版权以及其它问题的,请联系我们。相关合作、投稿、转载授权等事宜,请联系本网。
QQ:2268148259、3050252122。


让制造业不缺测试测量工程师

关注仪商网公众号

0条 [查看全部]  发表评论

最新发布
行业动态
行业聚焦
国际资讯
仪商专题
按分类浏览
Copyright © 2006- 861718.com All rights reserved 版权所有 © 星球国际资讯集团 广州德禄讯信息科技有限公司
本站转载或引用文章涉及版权问题请与我们联系。电话:020-34224268 传真: 020-34113782