2、光纤高度测量示值重复性:选取3~5种不同高度的标准光纤高度块作为测量点重复测量次数10次,得到测量示值误差的同时,也可通过计算实验标准差得到该测量点的示值重复性。这里需特别说明,有部分厂家说明书中的重复性、再现性。
3、标准光纤高度块:近几年来,随着台阶高度测量需求的猛增,主要通过经国家计量院定期溯源的标准台阶块来解决标准光纤高度块的量值溯源问题,可采用标准台阶块、白光干涉仪、轮廓仪、原子力显微镜等多种非接触或接触式测量方法进行标准光纤高度的定值。
4、曲率半径:可采用万能测长仪、工具显微镜接触或非接触的测量方法标准球面进行曲率半径的定植;
5、曲率半径:可采用万能工具显微镜
主要争议及解决方法:
1、关于规范适用的测量范围如何界定
目前使用中的锡膏厚度测量仪的测量范围大多在(20~400)μm左右,部分新的仪器最大厚度可达到1 mm以上。根据查询资料及调研统计,大部分锡膏测厚仪的常用范围在(100~150)μm,极少有达到几百微米以上,实际上不可能将锡膏做到这么大的厚度。起草组经讨论后决定将规范适用范围定为(0~600)μm,最大校准点达到测量上限的2/3,故标准台阶块最大厚度达到400 μm即可。
2、关于规范是否需要提出示值误差和重复性的技术要求
目前国内外各生产厂家对各自产品标称的精度差异很大,部分厂家将分辨力、重复精度与测量精度等概念混用,有些标称测量精度甚至达到零点几微米;某些厂家的技术指标明显存在问题,例如测量精度为1微米,重复精度却为3微米。实际上,PCB板上的锡膏块通常是不规则形状而非完全平整的,零点几微米的厚度测量精度没有实用意义。因此没有必要为了验证厂家虚标的技术指标,而去花费大量的时间和资源去提高标准器的精度。
另一方面,根据调研,大部分锡膏产品的控制公差为几十微米,锡膏厚度测量仪的示值误差在几微米到十微米左右应可满足使用要求。由于各类产品的制造要求存在差异,应由使用者依据实际情况确定验收指标较为合理。
故本规范对于示值误差和重复性不提出统一的技术要求。
3、关于如何确定标准器的精度
由于锡膏厚度测量仪采用激光三角法或摩尔轮廓测量法,对测量面一般要求不能为镜面反射,所以需对标准台阶块表面进行哑光处理,在一定程度上限制了标准器的精度。出于经济性和一般工艺水平的考虑,起草组认为标准台阶块的不确定度达到1微米的水平较为合适。如实际标准器不确定度大于1微米,则应根据客户提出的技术指标来判断能否使用,通常标准器不确定度应不大于技术指标的1/3。
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