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告诉你一些关于SEM扫描电镜的能谱分析技术


  来源: 嘉峪检测网 时间:2020-05-07 编辑:仪器仪表WXF
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当有这种现象时,可以选择其他区域的样品比较一下一些过渡元素的K线系和L线系,或者原地倾转样品,调整样品位置,看是否有明显的变化,以此判断原分析结果的可靠性。


Q5:谱峰里面总是出现一些样品里不可能有的元素,怎么回事?


发生这个问题可能存在以下几种情况:


a) C和O,一般空气中都有油脂等有机物的存在,很容易吸附到样品表面造成污染,无论TEM还是SEM,都有可能看到C和O的峰。尤其TEM,一般使用C膜支撑,有C再正常不过了。


b) Al或者Si:SEM因为使用Al样品台或者玻璃基底,所以在样品比较薄的区域扫谱,会有基底的信号出来。


c) Cu和Cr:这个是TEM里特有的,Cu是使用载网的材质Cu导致的,而Cr一般认为是样品杆或者样品室材质里的微量元素导致的。


d) B:有些时候分辨率忽然极高,看到了清晰的B峰,这要注意,因为样品在扫谱过程中大范围移动就容易出现这个峰,还有如果样品处于加热状态,也会有B的峰出现。


e) 一些很难见到的稀土元素或者La系Ac系元素,这很可能是因为噪音的峰较强,仪器的分析认为有微量相应能量区的元素存在,用软件去除即可。

关键词:SEM扫描电镜 能谱 分析技术    浏览量:778

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