固态激光雷达，是指完全没有移动件的激光雷达。但近年来，一些带有微小移动部件的激光雷达也被统称为“固态激光雷达”，它们具备了固态激光雷达很多的性能特点，如分辨率高、有限水平FOV（前向而不是360°）等，但他们从严格意义上来说不能算纯固态激光雷达。代表为MEMS激光雷达。
MEMS（Micro－Electro－Mechanical System）指代的是将机械机构进行微型化、电子化的设计，将原本体积较大的机械结构通过微电子工艺集成在硅基芯片上，进行大规模生产。技术成熟，完全可以量产。主要是通过MEMS微镜来实现垂直方面的一维扫描，整机360度水平旋转来完成水平扫描，而其光源是采用光纤激光器，这主要是由于905纳米的管子重频做不高，重频一高平均功率就会太大，会影响激光管的寿命。
从严格意义上来说，MEMS并不算是纯固态激光雷达，这是因为在MEMS方案中并没有完全消除机械，而是将机械微型化了，扫描单元变成了MEMS微镜。
纯固态激光雷达主要有OPA方案激光雷达，Flash激光雷达。
OPA（optical phased array）方案主要是采用多个光源组成阵列，通过控制各光源发光相位时间差，合成具有特定方向的主光束。然后再加以控制，主光束便可以实现对不同方向的扫描。雷达精度可以做到毫米级，且顺应了未来激光雷达固态化、小型化以及低成本化的趋势。其难点主要在于生产精度高，且需要提高单位时间内测量的点云数据量。不过，随着工业技术的进步，OPA方案的优势会越来越大。
Flash方案激光雷达的原理是快闪，它不像MEMS或OPA方案扫描物体，而是短时间直接发射出一大片覆盖探测区域的激光，再以高度灵敏的接收器，来完成对环境周围图像的绘制。
