近年来,随着各种新型化合物半导体材料技术如氮化镓等器件的蓬勃发展,器件尺寸的不断缩小,电场强度和电流密度却相对增加。器件应用范围不断扩大,应用场景愈来愈复杂,导致集成电路的设计、优化与制造越来越困难。由此,准确的器件测试不但对模型建模分析尤其重要,并且已经成为器件工艺优化本身和后续电路设计不可或缺的环节。
本解决方案基于中电仪器的3672系列高性能多功能矢量网络分析仪平台。用于微波功率半导体芯片On-Wafer设计测试,可直接测试增益、增益压缩、有源交调等参数。兼容市场主流的负载牵引设备,支持有源谐波牵引;兼容市场主流探针台,支持探针台及探针定制;兼容PHD谐波模型的半导体设计和研制,提供双频非线性模型W参数;兼容市场主流设计仿真软件,提供设计仿真工具。提供器件测试、数据分析和模型提取的设计测试解决方案。
功能要点
增益及常规S参数测试功能;
二维增益压缩快速测试功能;
有源互调快速测试功能;
脉冲S参数一体化测试功能;
八通道频谱模式快速测试功能;
无源负载牵引测试功能;
有源负载牵引测试功能;
基于冷源法的等噪声圆测试功能;
热态参数测试测试功能;
放大器功率增益效率测试功能;
功能简介
优化的等功率圆、等效率圆、等增益圆的快速遍历;
模块化的系统配置页面;
在片校准过程控制及数据分析功能,降低人为因素影响,提高测试效率;
支持Cascade/MPI等多种型号探针台;
支持独有的W参数模型,兼容X参数及Cardiff模型;
AWR仿真及半实物仿真,兼容ADS及IC/CAP;
全国快速响应的技术服务与支持。
灵活的有/无源负载牵引测试
在片校准测试实时分析与控制
多种灵活校准方案及自研校准件
支持矢量网络分析仪自带校准程序,提供TRL、SOLT等算法,使用自主研制的校准件,并经过国家计量科学研究院完成溯源定标。
二维增益压缩快速测试
脉冲S参数快速测试功能
内部集成调制解调,可进行窄带和宽带脉冲测试,提供扫频、包络和脉冲点三种测试模式,脉冲过度时间可达10ns。
互调失真及频谱分析的快速测试
功率增益效率快速测试
功率半导体的建模数据分析
对测试数据进行分析,提供脚本解释执行功能。
兼容IC-CAP语法及模型规范。
兼容多种型号探针台