这些量身定做的改变，搭配上横河传统的自由空间光构造设计，在相同设置条件下，扫描速度可是AQ6370D的两倍不止，能给客户提升的产能是相当可观的。
AQ6360激光芯片扫描图谱
扫描速度
选型时大部分客户最为关注的就是扫描速度，因为对激光芯片测试的企业来说，需要测试的芯片可能数以百万为计，所以提升每个芯片的测试效率就非常重要了。
@Sens: MID, x2 mode. Res 0.1 nm, Span 50 nm, 2001 points
波长精度
有些客户可能会质疑：“AQ6360就是AQ6370D做了减配吧？”
对比AQ6360与AQ6150（波长计）就会发现，AQ6360实际的波长精度到底有多好——
AQ6360波长精度指标是0.02nm（20pm）；
AQ6150波长精度是1pm。
上图对比可以看出AQ6360实际的精度要好于标称参数，大概4pm左右，完全能够跟市场上一些波长计相媲美。它的性能和AQ6370D一样出色！所以AQ6360可以给客户带来前所未有的“快感”，同时又能保证测试的精度。
芯片的供电与测试——SMU
源测量单元（SMU），顾名思义就是可编程电源和测量仪表的结合体，既可电源输出，又可以进行测量。随着对源和测量同步性要求的不断提高，SMU在生物化学、超导材料、光电器件测试、半导体研究等领域起到了越来越大的作用。
GS820工作时序图
以对半导体激光器芯片进行检测为例，需要SMU输出电流驱动激光器，并测量光电传感器的输出电压，同时使用光谱分析仪对激光器的发光波长和光谱特性进行检测。
由于光电传感器产生的电压很小，需要源表具有很高的分解能力和测量精度。为了避免激光器过热和提高检测速度，驱动电流需要以窄脉冲扫描的形式进行输出，这就对SMU的响应和测量速度提出了很高要求。这样的检测工作在生产线上可能需要连续24小时进行，SMU的稳定性也至关重要。
SMU 源测量单元的关键参数：
精度
精度是根本，高精度SMU的输出和测量精度可以达到很高，然而这个精度指标通常是有很多限制条件的，比如温度范围、保证时限等。保证精度的温度范围越宽，保证时限越长，实际测试过程中的精度才越有保障。
横河GS200系列SMU的最高精度可达读数的0.001%；在23±5℃的温度范围时，一年的保证精度也可以达到读数的0.016%；23±5℃温度范围以外时，温度系数更可高达±0.0008%/℃。
稳定性
稳定性是指SMU在进行长时间连续测量时，精度的变化情况。影响稳定性的因素有很多，如元器件的质量、零部件的磨损老化、以及使用或贮存不当等。
另外，SMU的实际应用场景通常会连续测量较长时间，会在SMU的机箱内产生并积累热量，如果散热处理不当也会对输出和测量的精度带来较大的影响。
GS200输出稳定性与其他公司产品对比
响应速度
当SMU的输出通过扫描或编程频繁进行切换时，输出的响应速度就变得尤为重要。
快速的响应才能保证输出对时间的准确性，迅速而准确地达到输出值，而良好的震荡抑制能够确保电压、电流输出的稳定，避免对被测对象产生不必要的冲击。
结语
