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一文带你遍历透射电镜常见故障


  来源: 仪器信息网 时间:2020-09-27 编辑:仪器仪表WXF
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前言

日本电子JEM-1200EX/2000EX透射电子显微镜是我国八十年代较早引进的先进的大型精密仪器,对各种固体材料的微观形貌和结构进行观察和分析,对固体材料的元素组成进行定性和定量分析。广泛应用于材料科学、生物医学、地质矿产等方面,为我国的大专院校、科研机构、科学院所、工矿企业的科学研究和产品生产做出了不小的贡献。


JEM-1200EX透射电镜(图1)是比较典型的大型精密仪器产品,该产品体积较大,结构繁琐,电路复杂,布局零散,辅助设备多,在使用过程中总体性能还是相当稳定的,但是由于工作年限较长,仪器发生过一些故障,下面现将出现过的一些故障维修案例进行精炼汇编,介绍给版友们及同行参考。JEM-2000EX型电镜与JEM-1200EX型电镜差别不大,维修方法大同小异,可相互参考。


图1 JEM-1200EX透射电子显微镜主机外观图

图1 JEM-1200EX透射电子显微镜主机外观图


1、真空系统


故障一(JEM-1200EX)

【故障现象】:

正常开机,只有V1阀~V3阀打开,其他阀均处于关闭状态。一般情况下,开机30~40分钟左右,真空图标显示V1阀~V6阀打开,V12阀、V13阀打开,此时其他阀未打开,说明仪器不正常。再次开机偶尔可听见镜体内有异常声音,屏幕提示PI-1:253,PI-2:187,PI-3:232,PI-4:126,此时V2阀、V3阀处于关闭状态。检查空压机,压力为3.65kg/cm2偏低。

【故障分析】:

分析气阀压力不足,导致气阀开关不稳定。

【故障排除】:

打开空压机,压力加至4.8kg/cm2,再次开机,抽真空正常,各阀按仪器顺序正常打开和关闭,仪器恢复正常运行。


故障二(JEM-1200EX)

【故障现象】:

打开电源启动仪器,机械泵旋转一周,然后迅速停止。

【故障分析】:

从故障现象分析,机械泵能旋转一周,说明启动电源没有问题,机械泵旋转要靠启动感应传感器来维持旋转,问题可能在传感器及控制系统,检查真空系统未发现异常。

【故障排除】:

用备件传感器更换,开机故障不变,因此重点放在检查控制系统,打开控制系统检查发现内部很潮湿,部分机械部件已生锈,问题根源应该就在于此。取下生锈部件进行除锈清洗,烘干并加一些润滑脂防锈,清理控制器内部潮湿区域,安装复原修理部件,通电开机机械泵恢复正常旋转,故障排除。


小结:分析原因机械部件生锈导致机械动作受阻,使机械泵启动困难被憋死,传感器无感应信号最后保护电路动作,切断工作电源。


故障三(JEM-1200EX)

【故障现象】:

开机抽真空机械泵(RP)运行正常,30秒后V12阀打开,随即几秒钟后V12阀又关闭,机械泵停止保护状态,5分钟后仪器自动关机,无法工作。

【故障分析】:

仪器自动关机,说明某处异常进入保护状态,循环水系统,空压机系统,真空抽取系统都是重点检查对象。

【故障排除】:

检查循环水水温、水流量正常。

检查空压机运行正常,压力指示正常。

检查负责低真空的机械泵(RP)运行正常。

检查负责高真空的扩散泵(DP)情况,打开扩散泵发现加热盘(炉)是冷的,用万用表测量内部加热丝已烧断(正常为65欧左右),说明加热盘已损坏。更换备用加热盘,安装复原扩散泵,检查各部件及接线无误后,重新开机经过40分钟运行,各真空参数恢复正常,各阀门也按顺序正常打开,仪器恢复正常工作。


小结:扩散泵加热盘(炉)连续工作时间较长,加热丝容易烧断,需要经常检查和维护,损坏后及时更换。


故障四(JEM-1200EX)

【故障现象】:

开机前面抽真空一切正常,当进行到打开V6a阀抽电照相真空时,结果真空度下降,V6a阀无法打开,自动回到前一级抽真空,反复循环真空度始终上不去。

【故障分析】:

由于前面抽真空没有发现问题,在进行照相室抽真空时,真空度下降,分析照相室有可能存在泄漏。进行真空度泄漏检测,结果照相室泄漏最快,由此判断照相室确实存在泄漏。

【故障排除】:

照相室结构复杂,密封口较多,查找漏点较为困难。因此,根据先易后难的原则逐步检查和排除故障部位。

1、清洗照相时门边框及密封条,重新涂抹密封脂,开机故障不变。

2、清洗前端大观察窗和两侧小观察窗及密封条,重新涂抹密封脂,开机故障不变。

3、清洗照相室底部扫描附件,重新涂抹密封脂,故障不变。

4、检查小荧光屏扳手组件密封情况,组件结构复杂,不好随意拆卸检查,临时加工一个部件代替组件,开机故障不变。说明组件无泄漏问题,换回组件,重新涂抹密封脂。

5、检查V3阀、V9阀真空泄漏率,工作正常未发现泄漏,

关键词:透射电镜 常见故障    浏览量:3879

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