最近10年，随着消费电子，尤其是智能手机和穿戴电子的发展，使MEMS传感器真正的在全球火热起来，大量的应用涌现，MEMS传感器真正“飞入寻常百姓家”。
MEMS全称MicroElectromechanical System,微机电系统。MEMS最初大量用于汽车安全气囊，而后以MEMS传感器的形式被大量应用在汽车的各个领域，随着MEMS技术的进一步发展，以及应用终端“轻、薄、短、小”的特点，对小体积高性能的MEMS产品需求增势迅猛，消费电子、医疗等领域也大量出现了MEMS产品的身影。例如，最近火爆的做胃镜的无痛小胶囊，5G路灯，骨传感耳机，智能家居中洗衣机与晾衣架之间的智能系统，电梯维护等等。
现在，我们已经接受了低成本，高性能微机电系统（MEMS）传感器的可用性，但并非总是如此。
从首个大众市场的MEMS传感器开始
MEMS的完整市场始于1991年，当时ADI公司在模拟，固态物理学，工艺技术，封装等许多领域进行了约十年的艰苦技术战后，终在1991年宣布推出（现已淘汰）ADXL50单轴加速度计，并在1993年实现量产。
ADXL50单轴加速度计尺寸为5毫米（mm）×5毫米，在当时属于一种破坏性创新，它可用于单个非常特殊的应用：触发刚刚引入但未强制使用的汽车安全气囊。全模拟ADXL50是首个大众市场MEMS加速度计，它提供了一个经过全面处理的模拟输出，可以将其数字化或由比较器电路直接使用。
在MEMS传感器问世之前，大多数安全气囊是由Allen K. Breed在1967年开发的传感器触发的——碰撞减速会导致球与固定磁铁分离，并触发一个小的电气开关，该电气开关又关闭了一个电路，然后点燃了安全气囊中的化学物质。
相较于Allen K. Breed的传感器，首款MEMS传感器体积更小，价格更便宜且易于包装，但更重要的是，它将加速度感测从是/否场景更改为传感器可以提供感测值模拟流的场景。让实际的加速度波形成为触发算法的一部分。
尽管ADLX50到1999年已经过时，被更先进的MEMS单元所取代，但它的广泛影响显而易见。之后MEMS传感器发展不仅实现了高可靠性的传感器自校准功能（对于大多数传感器而言至关重要）；还增加了内部信号调理，模数转换器（ADC），微控制器接口和其他易于使用的功能。
很快，供应商开始提供两轴甚至三轴加速度计，首先是微型模块，然后是单片设备。然后，诸如真实运动感测甚至导航之类的应用变得可行（基本物理学：积分加速度确定速度；积分速度确定位移）。
不久后，这些MEMS设备又增加了振动式MEMS音叉，并成为陀螺仪和全惯性测量单元（IMU），在许多情况下，它们可以代替指导宇航员使用的大型IMU（> 100磅，> 200瓦），基于MEMS传感器的IMU可小巧得多。微型IMU可用于以前无法接触的加速/定位应用，也可作为无人机的制导核心。
首个走入大众市场的MEMS传感器是加速计，并在之后的一段发展时间里，大家似乎都把MEMS传感器聚焦在加速计的应用中。但事实上，目前MEMS器件已用于许多与加速度无关的应用。
例如，德州仪器（TI）在数字光处理（DLP）IC中通过微镜率先开发了转向灯，最初瞄准的是大屏幕显示器和微型投影仪。它的DLP6500具有1080p（1920×1080）阵列，具有超过200万个微镜，可用作空间光调制器（SLM），以控制入射光的幅度，方向和/或相位。
此外，TI还提出将汽车的前大灯对准方向盘。它的DLP5531是基于MEMS的电子转向设备，无需齿轮，电动机和轴承，并具有完全的可编程性，并且每个前灯的高分辨率可寻址像素超过一百万。
对于非光学RF世界，ADI公司提供四极单掷（4PST）MEMS悬臂开关ADGM1004，该开关可处理带宽为DC至13吉赫兹（GHz）的RF信号。借助其带有金属尖端的双向接触开关，在电路中使用它可以将RF信号路由到四个输出端口之一，或者选择四个输入信号之一进行输出。这些开关在RF信号链上的许多点或测试阵列和矩阵中得到广泛使用。
ADI公司扩展了MEMS技术的基础，创建了一种悬臂结构，该悬臂结构为4PST RF开关提供了金属对金属触点闭合，带宽为DC至13 GHz
MEMS传感器“飞入寻常百姓家”
目前，全世界有大约600余家单位从事MEMS的研制和生产工作，已研制出包括微型压力传感器、加速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器在内的几百种产品，其中MEMS传感器占相当大的比例。
