图3 MEMS传感器技术在华主要申请人
3.2 国内申请人排名
在MEMS传感器技术领域，国内主要申请人前10名中，包括2家企业、7所高校和1家研究机构，如图4所示。排名第一的歌尔股份有限公司和第十的瑞声声学科技（深圳）有限公司主要的专利技术集中在MEMS麦克风领域，目前是中国MEMS领域发展较好的企业。排在第2到第9位除上海微系统与信息技术研究所外，其他都是高校。
4、研究结论与对策建议
由MEMS传感器技术历年专利申请量趋势可知，中国的MEMS传感器技术起步早、发展快，与世界MEMS传感器技术专利申请趋势基本一致。但是中国的MEMS传感器技术的发展仍存在以下问题。
图4 MEMS传感器技术国内主要申请人
4.1 专利申请量大但不强，核心技术受制于人
中国MEMS传感器技术专利申请量排名世界第三，占世界MEMS传感器技术专利申请量的13%。但国内专利申请量排名前十的申请人中有一半国外申请人且排名均较高，MEMS传感器核心技术掌握在国外大型跨国企业手中。
4.2 技术与市场对接不畅，产业化不足
在MEMS传感器技术领域，国内排名前10的专利申请人以高校和科研院所为主，仅有两家企业。市场竞争集中度不高，尚未形成主导企业。缺少龙头企业有效整合产业链资源，紧密衔接产业链中各层级，发挥各环节的协同效应。
4.3 产业布局分散，没有明显的产业集聚
江苏、北京、上海和广东是我国MEMS传感器技术的主要产出区域，在国内专利申请量相差不大，产业布局上分散，没有明显的产业集聚。
针对MEMS传感器技术产业存在的问题提出建议：
（1）加大政策扶持力度，加快物联网核心技术突破
加大对MEMS传感器技术产业研发核心技术的资金、人才和设备的集中投入，提供专项资金，重点支持处于MEMS传感器技术产业链的关键技术，重点开发前瞻性、战略性、基础性及关键共性等促进产业化的MEMS传感器技术。
（2）鼓励企业与高校和科研机构加强产学研合作，促进MEMS传感器技术产业化
建立MEMS传感器技术相关科研院所和企业在研发与产业化的分工体系，强化技术成果的转化应用机制，将MEMS传感器技术产业化作为最终目的，重点推动MEMS传感器关键技术的创新。鼓励国内外公司与高校和科研院所联合设立研究开发机构，共同研究开发制约MEMS传感器技术发展的关键技术。
（3）加强传感器产业链联动，布局重点应用示范
合理布局MEMS传感器技术产业链，加大龙头企业培育力度。以产业链招商促进MEMS传感器技术产业集群，以MEMS传感器技术产业集群带动招商工作，形成良性循环，打造良好的物联网产业生态环境。
