摘要：针对MEMS传感器技术在国内的专利申请状况，文中结合关键词检索、IPC 检索、逻辑表达式检索等多种检索方式，检索了2018年12月31日前公开的专利申请数据。通过对MEMS传感器技术专利的申请数量统计，分析中国MEMS传感器技术专利的申请趋势、MEMS传感器技术产出分布和MEMS传感器技术国内专利申请人，揭示中国MEMS传感器技术发展存在的问题，并提出针对性的建议。
引言
MEMS传感器结合了MEMS技术与传感技术，是集微型机构、微传感器、微执行器以及信号处理和控制电路，直至接口、通信与电源于一体的微机电系统。它是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器，可以将物理化学信号转换为电学信号，实现从信号取样、处理到执行的整体集成，是微电子、材料、机械、化学、传感器、自动控制等多学科交叉的产物。
MEMS传感器以其体积小、重量轻、成本低、功耗低、灵敏度高、可批量化生产、易于集成和实现智能化等优异的性能，逐步取代传统机械传感器而占据主导地位。目前，MEMS传感器在消费电子、汽车电子、航空航天、工业控制、医疗健康等领域得到广泛应用，产品包括各种运动传感器和执行器、气敏/湿敏/光敏传感器、红外成像传感器等。物联网不断发展升温，MEMS传感器的重要性也与日俱增，需求也跟着水涨船高。
通过专利信息分析了解传感器技术领域的研究发展、重要研究机构及专利壁垒等情况。信息的获取通过对专利文献的著录事项及技术内容的统计和分析实现。统计工作主要通过专利数据库提供的统计功能和相关专利分析软件完成，经过人工甄别和修正，统计结果以图表等可视化形式直观展示。通过对统计结果进行解读和分析，便能呈现该技术领域或方向的整体专利态势。
针对传感器技术在国内的专利申请状况，本文检索结合关键词检索、IPC检索、逻辑表达式检索等方式，检索了2018年12月31日前公开的专利申请数据。对我国传感器技术专利申请趋势、技术产出区域分布和主要申请人进行分析。
1、中国传感器专利申请趋势分析
中国传感器专利历年申请量如图1所示。由图1可知，中国开始进行MEMS传感器研究的时间并不晚，1991年已有1件相关申请。从历年趋势来看，中国的专利申请集中在1999年以后，在经历了2005 ~ 2007年的平稳期后，申请量继续增长，并在2016年达到了顶峰，2017年和2018年专利申请的下降则是由于专利公开的滞后性所导致。
图1 中国MEMS传感器技术历年专利申请量趋势
2、中国传感器技术产出区域分析
由图2可知，原创于美国、日本、中国、德国和韩国的专利申请占到MEMS 技术申请总数的71%，说明这五个国家是该领域的主要技术力量。其中，美国的申请量最多，中国、日本、德国、韩国与美国相比，具有一定的差距。
江苏、北京、上海、广东是我国MEMS传感器技术的主要产出区域，其中江苏的申请量最大，这与江苏传感器技术企业和高校较多有关。南京集聚了众多高等院校，苏州和无锡近年来大力发展MEMS技术产业，引进上百家MEMS企业，长三角地区已成为MEMS技术产业较为集聚的区域。北京和上海的高等院校和研发机构较集中，专利产出量较大。近年来，广东在MEMS领域发展迅速，专利申请量较多。从全国整体水平看，江苏省在MEMS传感器领域的企业比较集中，发展初具规模，是具有竞争力的地区之一。
图2 MEMS传感器技术领域的技术产出格局
3、传感器技术主要申请人分析
3.1 在华申请人排名
由图3可知，MEMS传感器技术专利按照申请量分布大致分为三个梯队。三星电子株式会社处于申请量的第一梯队，申请量在500件以上。第二梯队的专利申请量在400件以上，包括精工爱普生株式会社、索尼公司、歌尔股份有限公司、罗伯特·博世有限公司和东南大学。第三梯队的专利申请量在300件以下，包括上海交通大学、高通MEMS科技公司、中国科学院上海微系统与信息技术研究所和清华大学。在MEMS领域，国内专利申请量排名前十的专利申请人中国内申请人和国外申请人各占一半。这表明国外高科技企业比较重视中国市场，在中国布局大量的专利。而国内申请人主要以高校和科研机构为主，产品产业化相对国外还有一定差距。
