因此,MEMS传感器专项可选择一些用户关联度高、市场规模大和存在供应链风险的产品,如汽车传感器、仪器仪表传感器和量大面广的消费传感器等,扶植有优势的MEMS传感器企业进行产品研发,在MEMS传感器量产线实现量产,提高国产传感器的市场占有率,做大做强本土MEMS传感器企业。
完善我国MEMS传感器产业链
MEMS传感器的产业链包括用户、产品公司和制造体系。由于MEMS传感器的个性化特点,其产品开发必须与用户密切结合,用户是其产业链中的一个重要环节;产品公司根据用户需求,进行MEMS传感器产品开发;由于MEMS传感器的制造涉及芯片加工,工艺线投入大,一般产品公司可通过共享来完成。这三个环节密切联系在一起,产品公司可实现MEMS传感器的大规模销售。
因此,通过MEMS传感器专项的实施,可将我国MEMS传感器的大用户、有优势的MEMS传感器产品公司和研发量产线组织在一起,针对大用户的产品需求,进行相应的产品研发和应用验证,并在集成电路产线进行二次工艺开发,实现传感器大规模量产,打造出我国MEMS传感器产业链,提升国产传感器的市场占有率,解决传感器芯片受制于人的问题。
MEMS传感器的产业化离不开集成电路企业的参与,2010年我国有集成电路企业开始参与MEMS制造。产业链上下游开展产学研用合作,进行了打造MEMS传感器产业链的初步尝试,建立了用户、产品公司和量产线的有机联系,取得了好的效果。