3)加强研发创新
在半导体显微镜技术研发创新上,我国近年来也取得不少的成绩。2020年6月,中科院合肥研究院成功研制混合磁体极端条件下原子分辨扫描隧道显微镜(STM)。
此工作为利用混合磁体搭配STM开展原子分辨成像研究铺平了道路,对于突破当前超强磁场下只能开展输运等宏观平均效果测量之瓶颈,进入到广阔的物性微观起源探索领域,具有标志性意义。
5、中国半导体显微镜市场规模有望进一步扩大
晶圆生产附加值极高,因此不允许任何一道工序出现失误,结构随着性能需求提高在不断复杂化,检测在半导体制造中的地位也在持续提高,显微镜是半导体检测中最为重要的应用设备之一。
未来,随着我国半导体产业的不断发展,显微镜在半导体产业的应用需求将会不断扩大,同时国产替代空间大。前瞻预测,2026年我国显微镜应用于半导体产业的市场规模有望突破30亿元。