☆ 微机械加工技术及微机电仪表集成技术。
4.3 航天仪器仪表的产业化
自“七五”以来,国内仪表研究包括航天仪器仪表取得许多创新性研究成果。在2020年仪器仪表发展规划中,应该对于产业化给予足够的重视。
4.3.1 航天测控仪表的产业化,
☆ 磁致伸缩液位及位移测量系统和溅射薄膜压力测控仪表;
☆ 航天MEMS测控仪表,如压力、加速度计等。
4.3.2 航天惯性仪表的产业化
☆ 小型化、高可靠光纤、激光陀螺仪;
☆ 小型化、高精度石英、硅加速度计;
☆ 微机电惯性仪表等
5. 分段实施的步骤和方案
5.1 航天测控仪表
5.1.1 2005年
开展新型航天MEMS测控仪表微型结构先进加工技术的研究,航天特殊参数测量技术研究,以及测控仪表智能化、数字化技术的研究。完成磁致伸缩液位测量系统和溅射薄膜压力测控仪表产业化工程的建设,形成年产10万只磁致伸缩液位及位移传感器、5万只溅射薄膜压力测控仪表的能力。同时开展MEMS测控仪表产业化的基础工作。
5.1.2 2010年
完全成熟航天MEMS测控仪表技术,实现航天测控仪表智能化、数字化,实现更新换代,并应用于信息化武器装备。MEMS测控仪表实现产业化。完全实现磁致伸缩液位测量系统和溅射薄膜压力测控仪表的产业化,替代进口产品,形成国内大型研发、设计、生产、试验基地。
5.1.3 2020年
建成以航天高科技为主导的测控仪表产业化发展基地。随着新型航天飞行器的开发研制,航天测控仪表将开展深空深测、微型控制执行机构、智能网络测量系统、三维敏感系统等新应用领域的研究工作。
5.2 航天惯性仪器仪表
军民两用惯性仪器仪表发展实施步骤建议:
产业化产品 应用领域 2005年前后 2010年前后 2020年前后
车载导航定位、定向仪 各种军用、民用车辆 采用光学陀螺、石英加速度计组成年产**套以上 采用微固态的惯性仪表组成（低成本）
年产**套左右 采用MEMS技术、集成一体化（微功耗、小体积）
年产**套左右
地下、水下定位定向仪 钻井、隧道工程，水下救捞、测量及建设工程 采用小型高可靠挠性陀螺、石英加速度计年产**套以上 采用光学陀螺、硅加速度计年产**套左右
陀螺指北仪 军用、民用测量及建设工程 采用机械螺 采用光学蛇螺
