（天津大学精密仪器与光电子工程学院）
建有精密测试技术及仪器国家重点实验室、光电信息技术教育部重点实验室、微光机电系统技术教育部重点实验室、天津市生物医学检测技术与仪器重点实验室、微纳制造与测量技术教育部工程研究中心、天津市微纳制造技术工程中心、天津市集成光电子技术与器件重点实验室、天津市智能化精密测量技术工程中心、天津市智能人机交互康复工程技术中心、微米/纳米科学与技术创新引智基地、光纤传感与通讯引智基地等研究基地。
官网：
http://jyxy.tju.edu.cn/cn/
3、北京大学电子学系
主要研究方向：光纤传感器、MEMS传感器
主要研究院系：信息科学技术学院，微纳电子学研究院
主要研究单位：微纳电子学研究院、区域光纤通信网与新型光通信系统国家重点实验室等
微纳电子学研究院目前已发展成为我国最好的微纳电子科技研究与教育基地之一，多种CMOS和硅基MEMS标准工艺满足科研代工和人才培养需求，重复可靠的基础工艺支持各类器件芯片研制，保证CMOS-MEMS集成化工艺研发。
区域光纤通信网与新型光通信系统国家重点实验室重点研究光纤及光子传感的基础理论、器件原理及信号处理方法，围绕地磁场探测、地壳应变探测等，深入开展光泵原子磁力仪、高精度光纤传感、低成本高精度光纤陀螺、超高速光信号处理等方面的研究。
研究院下属集成微纳系统研究所(MEMS)，拥有完整的微米/纳米加工工艺线，具备可同时开展MOS、硅基MEMS和集成化工艺技术研究的实验环境，研究内容包括MEMS陀螺仪、加速度计、射频器件、光学器件、柔性器件等一系列MEMS器件，以硅基MEMS为基础，开发了SiC MEMS、 GaN MEMS、Ti MEMS、 Parylene MEMS等一系列加工技术。
主要研究团队：
王阳元院士：北京大学信息科学技术学院教授(1985年)、微电子学研究院首席科学家，主要从事微电子学领域中新器件、新工艺和新结构电路的研究。
黄如院士：北京大学信息科学技术学院教授，主要从事半导体新器件及其应用研究。
吴文刚教授：主要研究MEMS光开关阵列等器件。
张海霞教授：主要研究深槽刻蚀微纳加工、SiC MEMS及能源MEMS等技术。
金玉丰教授：主要从事微系统集成封装、MEMS传感器等方向的研究。
于晓梅教授：主要研究MEMS非制冷红外成像技术及太赫兹探测技术等。
官网：https://ofcl.pku.edu.cn/
4、西安交通大学机械工程学院
主要研方向：压力传感器、加速度传感器、MEMS传感器
主要研究单位：精密工程研究所微型机械电子系统研究中心、陕西省微型机械电子系统（MEMS）研究中心、机械制造系统工程国家重点实验室
建有“微纳制造与纳米测试技术”高等学校学科创新引智基地、“微纳制造与测试技术”国际合作联合实验室、陕西省微型机械电子系统（MEMS）研究中心、陕西省微纳传感器工程技术研究中心。研究所研究方向包括：微纳机械电子系统与微纳米测试技术、微纳制造与先进传感技术、超精密加工技术与装备、精密测量技术与仪器、生物制造与仪器等。
主要研究团队：
蒋庄德院士：长期从事微纳制造与先进传感技术、精密超精密加工与测试技术及装备等方面的研究。
赵玉龙教授：主要从事MEMS传感器及微纳制造理论和应用研究。
官网：
http://mec.xjtu.edu.cn/info/1006/6958.htm
5、东南大学电子与工程学院
主要研究方向：MEMS传感器
主要研究单位：MEMS教育部重点实验室
