东南大学依托电子科学与工程学院电子科学与技术学科，并结合工程力学、机械、材料、物理等相关优势学科，组建了MEMS研究机构。实验室是国家211工程、985工程重点建设部门，拥有具备国际先进水平的研究设施。近3年，实验室先后承担了国家重点研发计划、国家973计划、国家重大科研仪器研制、国家自然科学基金重点项目、教育部及地方政府等一大批重大科研项目，并取得一系列原创性重大成果。
主要研究团队：
黄庆安教授（长江学者，IEEE Fellow），实验室的研究方向包括风速风向传感器、气象传感器、无源无线传感器等多种MEMS传感器的设计与加工制作。
秦明教授：主要研究MEMS流量、风速、气压等传感器。
廖小平教授：主要研究基于RF MEMS技术的微波通讯信号的功率、相位和频率的集成检测系统，以及微型能量收集等方面的设计理论和实现方法研究。
尚金堂教授：的研究方向包括芯片级原子/量子器件以及微半球谐振器。
黄晓东教授：主要研究微能源器件与信息存储器件。
窦广彬教授：主要研究MEMS重力梯度及惯导传感，NEMS石墨烯位移传感，机械量子传感系统。
周再发教授：主要研究MEMS材料参数在线测试技术与MEMS设计软件开发。
官网：https://mems.seu.edu.cn/
6、浙江大学
主要研究方向：生物传感器、嗅觉和味觉生化传感器、光纤传感器
主要研究单位：生物传感器技术国家专业实验室、现代光学仪器国家重点实验室
浙江大学生物传感器技术国家专业实验室是世界银行“重点学科发展项目”贷款资助的专业实验室，于1991年成立。主要研究和开发生物医学领域中的传感器和检测技术，兼顾其他相关行业的传感器及检测技术。
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室始建于1989年，1995年建成并通过国家验收。实验室的定位为：以发展现代光学成像与传感技术为主旨，围绕国家重大需求，结合光学工程与光子学前沿技术，引领光学仪器相关研究与产业发展，建设国际一流的光学仪器研究和人才培养基地。
官网：
http://www.moi-lab.zju.edu.cn/
7、上海交通大学
主要研究方向：MEMS技术的微惯性器件、微飞行器、微安全保证系统、微表面应力传感器、微流控生化芯片、新型传感器、光电与视觉检测、生物医学感知等
主要研究院系：微纳电子学系
主要研究单位：微系统集成研究所、仪器科学与工程系现代传感器与光电检测研究室、通用MEMS技术实验室、EE-MEMS实验室、微米纳米加工技术国家级重点实验室（上交分部）
微系统集成研究所研究方向涵盖控制、机械、电子、材料、生物等领域。在微惯性器件方面，研究重点为静电悬浮微陀螺、静电悬浮微加速度计以及固体模态振动微陀螺等，微表面应力传感器包括微剪切应力传感器、微脉动压力传感器等。
现代传感与光电检测研究室隶属于上海交通大学电子信息与电气工程学院仪器科学与工程系，主要致力于新型传感器、光电与视觉检测、生物医学感知等方面的科学研究，具有多项国际首创的科研成果，部分技术水平处于国际领先。
官网：
https://microsystem.sjtu.edu.cn/index.html
8、电子科技大学电子科学技术发展研究院
主要研究方向：气湿敏传感器、光电传感器、力敏传感器、柔性传感器等
主要研究单位：薄膜与集成器件国家重点实验室、光电探测与传感集成技术教育部重点实验室
电子薄膜与集成器件国家重点实验室于2006年7月经科技部批准建设，实验室紧密结合电子信息系统微小型化和单片集成的重大需求，重点围绕电子功能材料的薄膜化和电子器件的集成化开展基础、应用基础与工程应用的研究。
