近期，据上海计测院消息，国家科技部组织技术专家和财务专家组成评估专家小组，对上海计测工程设备监理有限公司牵头开展的国家重大科学仪器设备开发专项——“跨尺度微纳米测量仪的开发和应用（2014YQ090709）”开展了中期评估现场检查。
“跨尺度微纳米测量仪的开发和应用”项目于2014年10月正式获得国家科技部批准立项。由上海计测工程设备监理有限公司牵头，上海市计量测试技术研究院提供技术支撑。总经费7681万元，其中中央财政专项经费投入3731万元，截止日期为2018年10月。届时，该项目将形成年产50台生产能力，累计销售收入5000万元。
立项目的是为突破我国在微纳米检测技术领域检测方法集成开发的诸多技术瓶颈，攻克宏微联动多轴驱动和多测头集成、基于原子沉积光栅的纳米量值溯源等关键技术，研制用于计量、工业生产、产品检测中微形貌和几何尺寸测量的微纳米测量仪，并构建跨尺度、高精度微纳米测量与研发平台，为我国国防、航空航天、半导体制造业、微机电产业、大气污染物防治等领域提供有效的纳米计量技术的支持和保障，提升我国高新技术产业中微纳米尺寸定量化测量的技术水平。
此次中期检查结果表明，“跨尺度微纳米测量仪的开发和应用”的研制进程符合计划任务书中的要求，已获得成果跨尺度微纳米测量仪1台、核心关键部件3个以及新应用方法6种；形成了质量和可靠性保障方案2套，成套技术档案文件3套；在研制过程中，发表论文32篇，申请国内专利26项（已授权9项），申请并授权计算机软件着作权2项，项目经费使用合规。
在听完研究成果汇报后，评估小组还在现场检查了项目研发的样机，获得一致认可。
