1.21 高精度多通道数据采集器
研究目标:开发高精度多通道数据采集器，突破高速共享缓存矩阵设计和快速实时信号同步处理等关键技术，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的产品，实现在质谱仪、噪声分析仪、磁场测试仪、低温物理参数测试仪等仪器中的应用。
考核指标：通道数≥64（可扩展），最大采样率≥204.8kHz，非杂散动态范围≥120dB，采样位数≥24bit，最大电压范围±10V，灵敏度50nV，串扰抑制≥110dB;平均故障间隔时间≥5000小时。
1.22 高速高精度二维扫描微镜
研究目标：开发高速高精度二维扫描微镜，突破低应力薄膜加工、片上角度检测等关键技术，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的产品，实现在共聚焦显微镜、3D激光扫描仪、微型激光雷达等仪器中的应用。
考核指标：工作波段800nm~2500nm，绕快轴扫描角度≥40°，扫描谐振频率≥25kHz;绕慢轴扫描角度≥60°，扫描谐振频率≥600Hz，指向性扫描时光线扫描角度≥30°，指向性偏转步进精度≤2µrad;抗冲击≥1200g，实现对转角的实时检测;平均故障间隔时间≥10000小时。
1.23 紫外凸面光栅
研究目标：开发紫外波段闪耀凸面光栅，突破光栅槽形精密刻划关键技术，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的产品，实现在紫外超光谱成像仪、紫外多光谱成像仪等仪器中的应用。
