1.4 聚焦离子束/电子束双束显微镜
研究目标:针对集成电路芯片设计修正和失效分析、样品3D重构、透射电镜样品制备等微纳加工技术需求,突破高分辨率聚焦离子束、高分辨率场发射电子束获得等核心技术,开发具有自主知识产权、性能稳定可靠、核心部件全部国产化的聚焦离子束/电子束双束显微镜,开发相关软件,开展工程化开发、应用示范和产业化推广。
考核指标:液态镓离子源聚焦离子束扫描分辨率≤5nm@30kV(双束重合点),能量≥30kV,束流≥65nA;聚焦电子束分辨率≤1.2nm@1kV(双束重合点),能量≥30kV,束流≥50nA;最大样品直径≥150mm,Z向高度调节范围≥40mm;具备聚焦离子束材料刻蚀、沉积和透射电镜样品制备、3D 结构重构能力;具备聚焦离子束加工过程中扫描电子束实时观察能力。项目完成时产品应通过可靠性测试,平均故障间隔时间≥168小时,技术就绪度达到8级。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量;形成批量生产能力,明确项目验收时销售数量和销售额。
1.5 高性能流式细胞分选仪
研究目标:针对生物和医学等行业血液和细胞分析需求,突破单细胞多色荧光高效分光技术、百万量级细胞数据处理技术、微流控细胞分选技术等关键技术,开发具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件全部国产化的高性能流式细胞分选仪,开发相关软件和数据库,实现对细胞、荧光微球等生物颗粒的分析、计数与分选。开展工程化开发、应用示范和产业化推广。
考核指标:激光器波长数≥4;激发荧光波长数≥30;荧光检测灵敏度:FITC≤80MESF,PE≤30MESF;细胞检测和分析速度≥70000细胞/秒;颗粒检测大小0.2μm-50μm。项目完成时产品应通过可靠性测试,平均故障间隔时间≥5000小时,技术就绪度达到8级。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量;形成批量生产能力,明确项目验收时销售数量和销售额。