【仪商网-仪器仪表招标】复旦大学现就电子束蒸发仪等采购进行国际公开招标，欢迎合格的供应商前来投标。
电子束蒸发法仪
电子束蒸发法是真空蒸发镀膜的一种，是在真空条件下利用电子束进行直接加热蒸发材料，使蒸发材料气化并向基板输运，在基底上凝结形成薄膜的方法。在电子束加热装置中，被加热的物质放置于水冷的柑涡中，可避免蒸发材料与柑祸壁发生反应影响薄膜的质量，因此，电子束蒸发沉积法可以制备高纯薄膜，同时在同一蒸发沉积装置中可以安置多个增祸，实现同时或分别蒸发，沉积多种不同的物质。通过电子束蒸发，任何材料都可以被蒸发，不同材料需要采用不同类型的增竭以获得所要达到的蒸发率。
电子束蒸发仪可以蒸发高熔点材料，比一般电阻加热蒸发热效率高、 束流密度大、蒸发速度快，制成的薄膜纯度高、质 量好，厚度可以较准确地控制，可以广泛应用于制备高纯薄膜和导电玻璃等各种光学材料薄膜。
一、预算及采购内容
1、预算金额：2100万元人民币
2、采购内容
●电子束蒸发仪 2套 预算金额400万人民币元，要求：主泵采用抽速不低于790L/S的分子泵
●反应离子刻蚀机 2套 预算金额300万元人民币，要求：射频源采用射频发生器、并配置自动匹配盒
●光刻机（Mask Aligner2套 预算金额800万元人民币，要求：光强均匀度：优于±2.5％
●扫描电子显微镜 2套 预算金额600万元人民币，要求：加速电压：0.02kV～30kV，加速电压10V步进连续可调，电子着陆能量范围：20eV～30keV（在不使用样品台减速模式下）
二、招标文件的发售时间及地点等：
时间：2019年12月26日 09:00 至 2020年01月03日 16:00(双休日及法定节假日除外)
地点：中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼
招标文件售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和
招标文件获取方式：现场领购
三、投标时间及地点
投标截止时间：2020-01-16 10:00
投标文件送达地点：邯郸路220号逸夫科技楼3楼303B会议室
四、开标时间及地点
开标时间：2020-01-16 10:00
开标地点：邯郸路220号逸夫科技楼3楼303B会议室
五、联系事宜
招标人：复旦大学
地址：上海市邯郸路220号
联系人：张老师
联系方式 ：86-21-65641327
招标代理机构：上海国际招标有限公司
地址：中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼
联系人：王晓、马骎
联系方式 ：86-21-62791919×192、176
