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落地运营!大湾区首条6英寸MEMS传感器芯片生产线


  来源: 网络整理 时间:2020-09-22 编辑:仪器仪表WXF
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随着物联网时代的到来,珠三角经济区作为中国最重要的制造基地之一,一直走在时代的前列。《粤港澳大湾区发展规划纲要》政策落实后,广州作为广东省省会城市和经济中心、一带一路新亚欧大陆经济走廊主要节点城市和海上合作战略支点,优势地位不断得到提升。


近日,广州奥松电子有限公司6英寸MEMS传感器芯片生产线正式投入运营,成功量产出温湿度、流量、气体、差压、风速等传感器芯片,并为部分珠三角客户提供MEMS半导体芯片代工服务。该生产线的建成投产标志奥松电子成为华南地区领先的MEMS半导体传感器芯片生产基地,推动国内、特别是粤港澳大湾区的MEMS半导体传感器高质量发展奠定了良好的基础。



奥松电子斥巨资打造MEMS半导体芯片生产线,一期工程净化车间总面积约2500平方米,配置湿法清洗区、百级洁净度光刻区、千级洁净度镀膜区、千级洁净度刻蚀区、千级洁净度离子注入区及参观通道等。整个洁净车间安装了多套高性能风淋系统,对进入洁净间的员工或者货物进行彻底风淋除尘。


该生产线一期工程于2019年3月立项,2019年6月正式进入施工阶段。经过6个月的施工,生产线的基础设施已安装完成。2020年,多台步进式投影光刻机、双面光刻机、涂胶显影机、深硅刻蚀机、大束流离子注入机、PECVD、LPCVD、氧化炉、磁控溅射机、探针台、应力测试仪、全自动RCA清洗机等先进的自动化生产设备搬入,生产线正式投入运营。



奥松电子MEMS半导体生产线一期工程为500纳米MEMS半导体工艺制程,生产设备约占整个投资规模的70%。一期工程已成功量产出温湿度传感器、空气质量传感器、气体传感器、流量传感器、差压传感器等多款优质的芯片产品。根据规划,2021年二期工程将建成350纳米制程工艺MEMS半导体生产线;2022年三期工程将建成180纳米制程工艺MEMS半导体生产线;总项目全部建成投产后,每月流片规模将达到4万片,满足奥松电子自身需求及粤港澳大湾区各类MEMS半导体芯片的代工需求。


奥松电子在MEMS半导体传感器领域打破了国外企业的垄断,实现国产替代进口,勇担历史使命,为粤港澳大湾区建设贡献自己的一份力量。

关键词:大湾区 MEMS传感器芯片生产线 运营    浏览量:469

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