基于上述微纳米测量仪器与测量方法的分析和原理的考虑，可以看到除了扫描隧道显微镜（STM）和AFM方法之外，其他方法的横向分辨力较低，已有的测量方法无法全面地解决针对微纳米领域的测试需求，无法适应微纳米几何量测量技术的发展。因此，开发更高测量精度、具有多种测量功能和数据记录功能的微纳米测量装置成为微纳米尺寸测量领域的研究热点。
微纳米几何量标准样板
目前，使用最为广泛的纳米计量标准样板是利用微纳加工技术刻蚀出的纳米结构，包括台阶、线宽、一维或者二维的线间隔。这种纳米尺寸样板本身加工工艺成熟，受加工工艺限制需要利用高精度的仪器（如计量型原子力显微镜、干涉显微镜、光学衍射测量装置等）进行严格的标定。同时，在利用高等级的仪器校准此类标准样板，或者用此类标准样板校准其他仪器的时候，在样板和仪器均不具备溯源性保障的情况下，评价结果会因为公正性和可靠性产生矛盾和分歧。
基于标准样板的自身缺陷，利用原子沉积技术的新技术路线是近十年来应用基础领域内的一个研究热点。美国国家标准与技术研究院（NIST）的研究人员用原子沉积技术获得了铬原子的光栅图形。同济大学的李同保院士也采用激光冷却的方法对进入驻波场的铬原子进行准直，得到光栅微结构，其周期是原子共振谱线波长的一半，而任何一种原子的共振谱线的数值都极其精确。因此，用激光汇聚原子沉积方法制成的线间隔结构的尺寸是具有自溯源性的。
微纳米计量技术的未来展望
2018年11月，国际计量大会在法国巴黎召开，全票通过了关于“修订国际单位制（SI）”的1号决议。根据决议，国际计量单位制的7个基本单位全部实现由常数定义。这次国际计量变革引领了两个重要发展趋势：计量单位量子化、量值溯源扁平化。其中，长度计量单位——米成为7个物理量中第一个付诸实用的量子计量单位。
长度计量单位的量子化为微纳米计量的发展指明了道路，很可能缩短或者彻底取消长度量值溯源体系的中间环节，在任何地点、任何时间都能准确地复现长度基本量。从这个意义来看，我们与发达国家处于同一起点，大力发展微纳米计量工作，建立简洁高效的计量体系对整个国家的科技、经济发展意义重大。
