1.突破共性核心技术，抢占战略发展制高点。
重点围绕MEMS惯导组件、车规级MEMS激光雷达、工业级MEMS压电及力学传感器等高精度、高可靠性核心器件的共性通用技术，实施一批重大核心技术攻关专项，力争取得一批产业带动性强、自主可控的重大原创科技成果和自主知识产权，抢占MEMS产业高端价值链。
2.建立MEMS中试平台，助力企业提速发展。
以政府为主导搭建MEMS中试平台，围绕射频、压电、光学MEMS器件开展特色制造工艺的研发和中试，为广大中小企业开发新产品提供工艺技术开发、流片试制、中试验证、检测评估等公共服务，加速MEMS器件全流程研发创新，补齐制造短板，构建大湾区MEMS产业创新生态圈，促进MEMS产业高端化发展。
3.面向全球“靶向引才”，构筑创新人才高地。
设立MEMS行业稀缺人才特殊奖励政策，主动面向全球MEMS行业领军企业、研究机构和高校引进一批拥有丰富制造生产经验和先进工艺开发能力的顶级技术专家及工程师，助于本地MEMS企业迅速提升设计能力和工艺水平。同时，依托MEMS中试平台开展国际研发项目合作、共建联合实验室，培养一批MEMS领军人才，加强后备人才队伍建设。引进和培育“两手抓”，构建国际一流人才高地，激发创新活力。
