近日，智能经济研究所发布了《深圳市MEMS产业发展白皮书》，报告认为：
1、深圳市MEMS产业下游应用需求旺盛，核心产品紧系电子信息产业主动脉。
2、MEMS制造环节短板突出，亟需构建中试服务平台，助力中小企提速发展。
3、深圳市在多个MEMS细分赛道具备先发优势，有望培育出若干独角兽。
4、MEMS特色工艺种类多、难度大，强化高端MEMS人才引育是“关键一招”。
以下为报告精华内容分享：
一、MEMS技术概览
（一）MEMS的定义
微机电系统（Micro Electro-Mechanical System，简称MEMS），是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的电子机械器件。MEMS具有微型化、智能化、高集成度和适于大批量生产、多学科交叉等特征。
（二）MEMS器件分类
MEMS器件根据其技术原理可分为四类：传感MEMS、生物MEMS、光学MEMS和射频MEMS。
图片来源：创新中心智能经济研究所
二、MEMS产业链
MEMS整个产业链涉及设计、制造、封装测试、软件及应用方案环节。MEMS产业链的上游负责MEMS器件设计、材料和生产设备供应，中游生产制造出MEMS器件，下游使用MEMS器件制造终端电子产品。
图：MEMS生产制造工艺流程图，资料来源：创新中心智能经济研究所
三、MEMS产业市场格局
（一）全球市场格局
1.全球MEMS行业市场规模保持稳定增长。
据IC Insights统计，2019年全球MEMS产业市场销售额超140亿美元，同比增长10%，预计未来几年全球MEMS市场将以15%的年复合增长率增长，到2023年市场规模突破200亿美元。
图：全球MEMS市场规模统计及预测 资料来源：IC Insights
2.细分领域呈现寡头垄断的分布格局。
据Yole Development公布的2018年全球MEMS元件厂商TOP30企业榜单，TOP30企业的总销售额高达103亿美元（占全行业81%）。其中，美国排名前30的厂商有12家，市场份额占比45.63%，主要包括RF MEMS、压力传感器、惯性传感器、温湿传感器、MEMS麦克风等细分领域；日本排名前30的厂商有10家，市场份额占比18.97%，主要包括图像传感器、继电器、喷墨打印头、压力传感器等领域；而中国只有歌尔和瑞声两家企业上榜，主要生产MEMS麦克风。
图：2018年全球TOP30MEMS元件制造厂商 资料来源：Yole Development
3.欧美MEMS代工厂具有压倒性优势。
据Yole Development 发布的2018年全球MEMS代工厂发展报告，提供MEMS代工的IDM厂商主要有ST、索尼、TI等，台积电MEMS代工业务也排在前列。从MEMS代工业务规模来看，TOP1为美国的ST，每2台手机中就有1颗ST MEMS传感器，其开展MEMS代工业务已有20余年。TOP2为加拿大的Teledyne DALSA，是全球最大的纯MEMS 代工厂。TOP4是中国耐威科技控股公司Silex Microsystems AB，在纯MEMS代工厂中排名第二。
