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高精密镀膜装置在先进光源技术研发与测试平台正式运行


  来源: 中科科仪 时间:2021-07-02 编辑:仪器仪表WXF
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在庆祝中国共产党百年华诞之际,由国家发改委立项支持、中科院高能物理研究所承建的高能同步辐射光源(HEPS)首台科研设备于6月28日上午安装,为其提供技术研发与测试支撑能力的先进光源技术研发与测试平台(PAPS)启动试运行。其中,中科科仪控股公司中科科美研制的直线式劳埃透镜镀膜装置及纳米聚焦镜镀膜装置也于同一天正式投入使用。



直线式劳埃透镜镀制装置及纳米聚焦镜镀制装置可实现各类高能物理装置聚焦镜、单色镜、劳埃镜、纳米聚焦镜等膜层制备。在两装置研制过程中,中科科美突破了多项先进制造技术:

精密加工制造技术,实现大型真空腔室及复杂运动系统精密加工与装配、减震及超洁净等严苛设计指标;

大型真空系统超高真空获得技术,实现结构复杂、内部零部件放气量大的大型真空腔室系统极限真空度达到10-6Pa;

高精度直线运动控制技术,实现长距离导轨运行平行度达到微米量级、运动系统速率稳定性控制在千万之一以内;

复杂镀膜工艺技术,实现高精度纳米量级万层镀膜工艺,膜厚精度控制在0.1纳米以内。


经相关主管部门和院所专家委员会现场测试,高精密镀膜装置结构设计合理、制造工艺先进、主要性能指标达到国际同类产品水平,填补了该领域内多项国内技术空白。


直线式劳埃透镜镀制装置


HEPS是国家“十三五”重大科技基础设施项目之一,该项目于2019年6月29日开工建设,建设周期6.5年。建成时,HEPS将成为中国第一台高能量同步辐射光源之一,为基础科学和工程科学领域原创性、突破性创新研究提供重要支撑平台。中科科仪控股公司中科科美凭借在真空系统集成领域深厚的专业技术积淀、强大的整体方案解决能力和一站式服务能力参与到该项目中,为国家重大科技基础设施项目实施和技术攻关贡献了力量。

关键词:高精密镀膜 测试平台 正式运行    浏览量:358

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