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中国电科:产业基础涌现“尖子生”,网络安全满满“含金量”


  来源: 中国电科 时间:2022-01-13 编辑:清风
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编者按:中国电科产业发展充分发挥电子信息科技创新体系优势,以解决产业链关键环节问题为己任,以打造供应链核心环节自主化为抓手,推动产业基础高级化、助力产业链现代化,在“电子装备、网信体系、产业基础、网络安全”四大板块诞生了一系列产业单项冠军产品。为打造高质量产品,推动民品产业做强做优做大,现对2021年“四大板块”的民品产业单项冠军产品进行报道。


中国电科聚焦产业链创新链关键环节,推进产业基础、网络安全布局发展,在材料、器件、装备、仪器、基础软件等领域形成一系列单项冠军产品。


中国电科处于国内半导体材料行业发展最前端,经多年布局发展,培育了一批以200mm硅外延片、通信用旋磁材料为代表的“真材实料”。


硅外延片是芯片制造主要原材料。电科材料掌握8英寸(200mm)及以下外延生长技术,其中200mm 硅外延片为核心产品,主要应用于高端功率器件和模拟集成电路芯片领域,外延层厚度均匀性、电阻率均匀性、平整度及颗粒度等核心关键指标均为国内第一,部分指标接近或达到国际水平。目前,4-8英寸(100mm-200mm)分立器件用硅外延片国内市场占有率超过50%。



旋磁材料是信号传输设备中核心器件隔离器、环行器的关键材料,广泛应用于通信基站及无线信号传输设备。电科9所在国内率先实现5G基站用旋磁基片的批量供应,材料性能达到国际先进水平。目前国内建设的约百万站5G基站中,有近半是采用9所生产的旋磁材料。“5G用旋磁材料”曾获第21届中国国际工业博览会金奖。



核心器件发展备受国家重视。中国电科瞄准国家所需,研制了一批以5G射频声学滤波器为代表的“器件健将”。


声学滤波器(包括声表面波-SAW、体声波-BAW)是5G通信的基础元器件,作为射频前端核心元器件,主要应用于以5G通讯为代表的移动通讯基站及智能终端中。目前产品国内市场占有率达10%,占据国产化器件份额60%以上,服务于行业主流客户。国基南方(德清华莹公司)、声光电公司是国内终端用滤波器主要供应商,拥有与世界先进水平相当的声学滤波器晶体材料生长技术、芯片制造技术及先进封装测试技术,构建了行业领先的全产业链微声技术体系,产品远销北美、欧洲、东南亚。



中国电科在半导体装备众多领域实现突破,涌现了一批以200mm CMP、中束流离子注入机、等离子体增强气相化学沉积设备为代表的“装备精品”。


化学机械抛光设备(CMP)是集成电路核心装备之一。电科装备致力于CMP设备研发和产业化,产业化机型200mm CMP设备可满足所有8英寸芯片制造过程中的复杂CMP工艺,通过了SEMI S和SEMI F47 认证,性能指标不低于和部分优于国际同类产品;300mmCMP设备进入产线验证以来,相关技术参数及工艺效果比肩国际一流设备,提前进入量产阶段。目前,200mm CMP设备国内市场占有率达到70%,成为知名集成电路制造企业唯一置换率100%的国产设备。



离子注入机是另一种集成电路核心装备。电科装备研发的中束流离子注入机产品已连续突破高性能离子源、高速晶圆传输等关键核心技术,产品服务于国内领先芯片制造厂商,广泛分布于国内多个先进产线,国内市场占有率约8%。目前,电科装备离子注入机工艺段覆盖至28nm,实现了我国芯片制造领域全谱系离子注入机自主创新发展,可为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。



等离子体增强化学气相淀积设备(PECVD)是太阳能电池片制造的核心工艺装备,并可拓展至半导体行业,具有广阔的市场前景。电科装备PECVD设备在产能和工艺均匀性等关键指标均处于国内领先水平,具有规格齐全、产能大、均匀性好、设备自动化程度高、稳定性高等优势,可满足不同客户的定制化需求,主要客户均为行业龙头企业,市场占有率逐步提高。其中,正面镀膜用PECVD设备2020年居行业第一位。


关键词:中国电科 产业基础 网络安全    浏览量:1610

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