谢斌平 费勉仪器科技（上海）有限公司首席技术官

坐标：上海宝山

领域：高端仪器

蒜泥白肉、捞汁小海鲜、香煎牛排……谈及美食，费勉仪器科技（上海）有限公司首席技术官谢斌平一下子列出了众多拿手好菜。

“做菜和设备调试有相通性，看起来只是一点点的参数不同，结果可能就会有很大的差异。平时忙着工作，家里人给了很多支持，而做饭不仅可以放松心情，也是对家人的一种弥补和回馈。”这位“搭设备”很厉害的张江示范区杰出创新创业人才称号获得者，品味着生活的乐趣，也徜徉在创新的世界。

1、瞄准世界一流”

位于张江高新区宝山园的费勉仪器，是一家致力于为全球学术及研究机构、国家重大项目和高端产业提供精密仪器装置，和以薄膜外延、低温技术、深紫外光源、先进等离子等为代表的前沿技术产业化创新型企业。

谢斌平是一位科班出身的“80后”凝聚态物理专业博士，曾获得国家科技进步二等奖、上海市科技进步一等奖等奖项，作为费勉仪器首席技术官，他主导开发了多项具有国际先进水平的科研设备与系统，特别是射频聚焦等离子真空紫外光源和无液氦多自由度低温样品架为国际首创，不仅打破了国际垄断，而且各项性能指标名列国际前列。

说起当时为什么会创办这样一家公司，谢斌平笑言和两位复旦大学物理系的同门师兄弟志同道合：“在科研上，其实我们已经在一些领域处在比较前沿的位置了，但是，科研设备就一直没有很好的国产产品。如果不从源头上解决这一问题，不管是科研也好，还是创新也好，都会受制于人。创办费勉仪器，就是希望通过探究基础物理学原理，实现中国的技术创新，填补这项空白。”

精密仪器作为集材料、物理、生物、化学多个专业与先进技术的高度综合，既是创新研究的工具，更是创新研究的主体。在国内基础科学和前沿科技投入和重视程度不断攀升，而高端精密仪器的需求仍然严重依赖进口的背景下，谢斌平带领技术团队瞄准世界一流的目标不断深化技术创新，打破技术壁垒，走进了这个领域的世界前沿。

“在实验仪器这一块，特别是在低温样品架、真空紫外光源领域，费勉仪器现在基本上已经做到世界最好了。比如，我们的低温样品架不仅实现了对老牌全球顶尖科研仪器的部分替代，甚至指标比国外的还好，被国际一流科题组所认可。如今，除了满足国内高校研究所的需求，我们现在差不多有三分之一的产品出口到国外。”

2、实现场景跨越

从初创的3个人，到如今的300余人；从挤在10平方米左右的小房间，到拥有约20000平方米的独立办公生产功能空间；从0到1的跨越，到从1到N的延伸……

如今的费勉仪器不断加速奔跑，成为上海市高新技术企业、上海市“专精特新”中小企业、上海市专利试点单位、上海市科技小巨人培育企业、国家专精特新“小巨人”企业。

在费勉仪器的生产现场，可以看到，组装和调试中的一套套实验设备，一个个真空腔连接着传递腔、测量腔等，硬核科技感十足。

与此同时，从第一个产品低温样品架开始投入研发，从传统液氦，到通过电制冷达到液氦温度……发展到今天，费勉仪器在超高真空、低温、薄膜制备及等离子四个技术领域，拥有丰富的技术积累和成熟产品线。

“在国内，四项核心技术都保持较高水准，并且可以提供集成方案和系统的公司还不多，这也是费勉仪器的竞争优势。”

如今，对于“诞生于实验室”费勉仪器而言，也在探索如何将应用场景从实验室拓展到工业等领域。这既给谢斌平和技术团队提出了新的要求，也提供了新的发展空间。

初创时期，费勉仪器的主要业务是为高校实验室和研究所提供集成了自己核心技术的整套实验设备和解决方案，这些设备主要用于半导体材料、航空航天有关领域的研究。随着企业的发展，在立足实验室设备产品和开发高端仪器的同时，谢斌平和技术团队也在工业和民生产品方面进行了研发应用的探索，并取得了不俗的成果。

“在工业领域，费勉的MBE系统（分子束外延生长技术, 是半导体等新材料研发制备的关键技术）的国产化已经实现了零的突破，从2021年起陆续向国内半导体公司交付多套设备，用于高功率半导体激光巴条生产和半导体材料晶圆薄膜外延，覆盖传统GaAs、InP器件，新型硅基氮化镓器件和氧化镓等新一代半导体器件。”从四英寸晶圆的MBE系统的供货，到八英寸的供货，再到未来逐渐实现全尺寸的供货，费勉仪器一步步地实现着从实验室到工业领域的跨越。“目前全尺寸生产型的MBE系统由一家法国公司和一家美国公司掌控，如果费勉的这个目标实现，意味着在研究分子束外延晶圆薄膜技术上我们将有机会突破‘卡脖子’，实现本土化。”

在其他民用领域，谢斌平也在带领团队尝试各种业务拓展。比如，基于费勉仪器的等离子技术拓展出的等离子空气消杀、等离子水技术，等等。

3、勇攀科技高峰

近者悦、远者来。如今，昔日老工业基地宝山，正蝶变成为创新创业热土，也为越来越多像费勉仪器这样的科创企业在此生根发芽提供着肥沃的土壤。

费勉仪器2017年8月迁入宝山区机器人产业园，这也是费勉仪器的第4次搬家。“伴随着费勉仪器的成长，我们需要更大的空间。”在谢斌平看来，“此次搬家可说是费勉仪器一个比较大的跨越，我们的人可以更多，我们做的事情也可以更多，距离我们的创新梦想也更近了。在此过程中，确实得到了张江宝山园挺多支持的。”

与谢斌平的感受一样，在费勉仪器的小伙伴们看来，这里正是理想的高科技制造型企业的创业地，费勉仪器在这里得到了全方位的“呵护”：机器人产业园可以为公司办理工商、环评等手续提供专业指导，提高企业的办事效率；宝山区科委、经委、人才中心等部门多次到企业实地调研，了解企业经营中的实际问题，针对企业特点，给予了资金补贴、人才留沪等方面的支持；工会等部门对企业员工进行高温慰问暖人心；政府提供的公租房也为企业留住人才提供了必要的住房保障；一系列的科创政策使企业可以安心研发生产，进而为建设科创主阵地做出更多的努力。

与此同时，谢斌平觉得，不止宝山，上海这座包容的城市，也无处不在地给予着科技企业充足的个性化发展空间。“我1999年来到上海后，就没有长时间离开过。我喜欢和习惯这里的环境，有志同道合的小伙伴，有兄弟公司，有客户，有政策和项目支持，在上海我们能够安心地专注于做我们自己的事情、专注于科技创新的前沿探索。”

良好的创新环境，也激励着谢斌平和费勉仪器向更高的科技高峰攀登。下一步，费勉仪器将继续依托自身研发力量，充分利用自身技术优势，不断提升产品性能，开发新产品，进一步实现高新技术在工业领域等的转化，做行业的领跑者。

“我们一直说科学技术是第一生产力，但是如果不能实现科研仪器的自主创新，就很难做出引领性的工作。正是在此意义上说，高端仪器的自主创新，是我们必须补上的‘功课’。”

“费勉仪器的产品可能普通人不会直接接触到，但是，在人们生产生活的背后却很可能是离不开的。”谈及上海科创“核爆点”，谢斌平表示，“核爆具有广度和深度，费勉仪器所在的赛道虽然高端，但也相对冷门。我希望的是，费勉仪器更像是长江或黄河的起源，可能看起来并不显眼，却恰恰是澎湃活力的起点和动力之源。”

关键词:费勉仪器 谢斌平 科创

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来 源：科创上海

编辑：清风

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