送检样品必须为干燥固体，块状、片状、纤维状、颗粒或粉末状均可。应有一定的化学、物理稳定性，在真空中及电子束轰击下不会挥发或变形；无磁性、放射性和腐蚀性。对含水份较多的生物软组织样品，要求用户预先进行临界点干燥前的固定、清洗、脱水及用醋酸（异）戊酯置换等处理。最后再由本室进行临界点干燥处理。图像观察样品应预先镀金膜，成份分析样品必需镀碳膜。一般情况下, 样品体积不宜太大（≤5x5x2mm较适合）。
21.电子探针：
定量分析的样品必须磨平抛光、清洗干净。若样品不能进行表面磨平抛光（将影响分析精度）处理应事先说明。为测试方便和节约机时，样品应先切成小薄片，不能切割制样，必须先与测试人员商量。应先标记好分析面上的测试点，无标记测试位置时，测试时只选有代表性、较平整位置测试。液体样必须先浓缩干燥。分析的样品必须是在高能电子轰击下物理和化学性能稳定的固体、不分解、不爆炸、不挥发、无放射性、无磁性。送样时最好注明样品可能包含什么元素。样品必须喷涂一层碳膜。
