此外，这个方法利用与数码相机中所使用的算法相类似的图像处理算法，以最大限度地提高性能。然而，系统的波长分辨率取决于阵列中探测器元件的尺寸和间隔；在这个阵列中，更小、排列更加紧密的元件提供更高的分辨率。大多数近红外（NIR）波长敏感的阵列探测器需要价格高且稀缺的材料；这些材料在多元件阵列配置中的十分昂贵。因此，为了降低仪器成本，阵列的分辨率通常较低，或者根本就不可用。为了提高性能，针对较高波长所设计的探测器需要冷却至环境温度以下，从而增加了对系统成本、尺寸和功率的要求，而这也不利于在实验室以外使用这个方法。
一个强大的使用MEMS技术的新方法
可以使用一个具有单点探测器的基于光学微机电系统 （MEMS）阵列技术的全新方法来克服传统光谱分析方法的很多问题和限制。一个固态光学MEMS阵列用一个简单、空间波长滤波器取代了基于单点探测器的系统内的传统电动光栅。这个方法在消除精细控制电动系统问题的同时，利用了单点探测器的性能优势。近些年，此类系统已经被生产出来；在这些系统中，将每个特定波长过滤到单点探测器中的MEMS器件取代了扫描光栅。这个方法已经被证明，在实现更加小巧且耐用的光谱分析仪的同时，可以产生出高性能。
相对于线性阵列探测器架构来说，光学MEMS阵列具有几个优势。首先，可以使用较大的单个元件探测器，这就增加了光采集，并且极大地降低了探测器的成本和复杂度，特别是对于红外系统更是如此。此外，由于不再使用阵列探测器，像素到像素噪声也被消除了。消除了这个像素到像素噪声是对信噪比 （SNR）性能的大幅提升。SNR性能的增加可以在更短的时间内获得更加精确的测量值。[pagebreak]
图1显示了一个使用MEMS技术的光谱分析系统的一般工作原理。衍射光栅和聚焦元件的功能不变， 不过来自聚焦元件的光被成像在MEMS阵列上。为了选择一个针对此分析的波长，光谱响应的一个特定波段被激活，以便将光引向用于光采集和测量的单点探测器元件。
