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实测案例 | 第三讲:温度监测电源模块烧毁原因分析


  来源: 福禄克公司 时间:2023-10-26 编辑:清风
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半导体行业的生产设备有刻蚀、薄膜沉积、清洗、湿制、封装和测试、抛光、硅晶圆制造等,这些精密生产设备中有电气元器件、执行部件、监测控制仪器等,对供电的稳定性和质量要求很高。


某半导体单晶硅材料生产车间有很多的单晶炉,晶体在生长和拉制时对温度有严格要求,因此安装了智能高温在线测温仪,对生产期间的温度进行严格的监测和控制。


但是电源模块经常损坏,大多发生在工作流程快结束的几个小时工作区间内,而且损坏是随机的。



01 现场设备及供电情况:


高温智能在线测温仪(1000-3200°C)


由于生产设备对供电质量要求很高,车间由两路UPS供电,一路大约带100台原晶生产设备。

一路的负载是单纯的单晶炉,没有损坏现象。

另外一路,除了单晶炉,还带有机械泵等其他动力设备。


02 监测方案:


Fluke 1777 电能质量分析仪


既然是损坏发生在工作流程快结束的几个小时,因此,请用户挑选了一台即将结束工作流程的设备,将一台电能质量分析仪Fluke 1777连接在三相供电电源处,监测有没有发生过压和过流。


03 先对仪器做基本的设置:


测试了20多个小时,捕捉到了一次浪涌事件


出现了一次浪涌电流



04 浪涌电流详情如下:


正常工作时的电流不超过2A

因此触发阈值设置为4A


但是捕捉到的浪涌电流是正常工作电流的5倍多(10.43A)


05 浪涌发生时电压电流的趋势图



06 电流波形图


电流波形出现大的偏差时

电压波形没有畸变(右下角)



07 电压电流谐波


尽管含量较高,但是幅值很小,没问题!


08 后续建议


敏感精密测试仪器使用单独供电(稳定,波动小)

关键词:福禄克 半导体 测温仪 电能质量分析仪    浏览量:6916

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