硅油用作油压开关阀的液压油，采用201 - 100耐磨二甲基硅油（黏度≤100mm2/s）作为大口径液压开关阀的液压油，由于其具有适度的黏度、润滑性、耐磨性、耐腐性及高温抗氧化性，使硅油液压开关阀与同口径的气动开关阀相比，不仅体积小质量轻，而且具有更好的液压动能、工作液流动性和密封性好、避免漏油及使用寿命长、安全等一系列优越性。
硅油用于高真空装置，利用有机硅扩散泵油具有的优异抗氧化性能和抗辐照性能以及很低的饱和蒸汽压，广泛用于原子能加速器、电子显微镜的高真空系统以及电视显像管、强功率电子管、微波电子管和其他阴极电子管的生产。
