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3690万 安徽大学计划采购光刻效果测量系统


  来源: 仪商网 时间:2022-08-12 编辑:仪器仪表WXF
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安徽大学是国家“双一流”建设高校,国家“211工程”建设高校。近日,安徽大学就2022年集成电路先进材料与技术研究设施-光刻效果测量系统采购项目,发布采购预告,预计采购时间定于12月,总预算3690万元人民币。


光刻效果测量系统,主要用于8寸及以下硅晶圆的光刻工艺中的套刻对准精度、线宽、显影和去胶效果的表征测量、以及对芯片进行损伤缺陷分析、分选等。需兼容第二代、第三代半导体材料以及电子元件产品的表征测量。


该系统包括:红外线双面套准检测仪、四探针方阻测试仪、台阶仪、原子力显微镜、3D数码显微镜、射频芯片测试平台、模拟测试系统、高带宽混合示波器、音频信号分析仪、高分辨率芯片显微分析仪、集成电路修补检测系统、芯片分选机、推拉力测试仪及相应测试仪表、X射线检测仪、超声波扫描显微镜等相关设备。


有兴趣的企业不妨留意一下12月的采购信息。


另预告上还计划:

11月采购“光刻加工系统”

10月采购“传统封装硅晶圆切割打标系统”

9月采购“智慧实验室系统”

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