近日,浙江省计量院博士楼伟民的《基于多体系统运动学的大口径非球面表面缺陷暗场检测子孔径扫描轨迹误差分析与测量方法》学术报告,获全国光学测试学术交流会优秀报告奖。
该报告针对大口径非球面光学元件表面缺陷暗场检测过程中,多达10个运动轴控制的子孔径扫描容易引发图像拼接错位的问题,建立了一种基于多体系统运动学的子孔径扫描轨迹误差分析数学模型,并提出了一种基于光轴轴心拟合的主要误差项测量方法,通过仿真与实验验证了主要误差项补偿后,子孔径扫描图像的拼接错位情况得到显著改善,为大口径非球面光学元件表面缺陷的数字化、高精度检测提供了技术保障。