但是，旋转式激光雷达正在被固态激光雷达所取代，即基于芯片技术的解决方案，这种技术无需任何运动部件。开发商们正在对固态激光雷达进行研究，如微机电系统（MEMS）激光雷达、闪光（Flash）激光雷达和光学相控阵（OPA）激光雷达。
MEMS激光雷达。MEMS激光雷达中的光束操纵机构是一面可快速转动的MEMS反射镜，通过MEMS反射镜的转动实现对视场内物体的扫描探测。Luminar、AEye、Innoviz、速腾聚创、禾赛科技、镭神智能、一径科技和Blickfeld等MEMS激光雷达代表企业参加了CES 2020。MEMS激光雷达厂商指出，与机械旋转式激光雷达相比，MEMS激光雷达成本更低、磨损更少，但MEMS反射镜镜面尺寸较小，限制了MEMS激光雷达的视场范围。
MEMS激光雷达代表企业均表示会积极开发价格便宜的车规级产品（必须具备实时处理所有方向数据的功能），将有利于车规安全级激光雷达的发展，但现在还处于早期。AEye业务发展和战略计划副总裁Akram Benmbarek表示，他们的产品专注于实现远距离探测、扩大视场范围、提高分辨率。智慧城市移动市场规模很大，因此该公司取消了安全性应用的优先级战略发展规划。出于成本原因，Benmbarek表示，“现阶段最适用安全性应用的客户是需要保障基础设施安全的企业以及政府机构。它们因面临高风险，需要有效的防护措施和冗余的入侵探测。”
公司总部位于加州都柏林的AEye表示，他们的“Agile LiDAR”能够实现扫描、收集和处理数据智能化，探测范围超过300米，远远超出了其它大部分激光雷达的探测范围。Benmbarek声称，这项技术可以“动态调整扫描模式，在单帧中聚焦于‘目标区域’，使其探测物体的能力是仅使用激光雷达产品的10到20倍。”
Florian Petit博士是激光雷达公司Blickfeld的创始人之一，该公司总部位于德国慕尼黑，已经开发出一种特殊的MEMS反射镜，可以大幅扩大探测视场。Petit称，为自动驾驶汽车开发所获得的进步现已用于工业安全领域。客户已经使用这项技术进行周界防护和入侵探测。他说道：“我们可以探测入侵者的位置和移动范围，MEMS激光雷达可以沿着防护周界探测并识别入侵者的举动。”
