近年来中国MEMS产业发展迅猛，MEMS传感器产业规模不断壮大，产品多样性不断增加，不断涌现出众多全球一流的优秀企业和创新产品。为发挥赛事平台对中国MEMS行业创新资源及能力的整合作用，提高产业创新效率、提升产业自主创新能力、畅通创新能力对接转化渠道，进一步实现优质创业项目落地、科技成果转化与大中小企业融通发展，使优秀企业和创新产品更快脱颖而出，中国半导体行业协会MEMS分会联合多家机构和企业，举办“2020中国MEMS行业创业大赛”，通过赛事平台选拔出一批优质创业企业和创新项目，使其加速得到市场认可，实现跨越式发展。
一、组织机构
主办单位：
中国半导体行业协会MEMS分会
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
MEMSRIGHT
赛迪顾问
承办单位：
苏州纳米科技发展有限公司
二、参赛对象
在全球范围内从事MEMS研发设计、流片、中试、封装测试、量产、下游应用等产业链环节的企业或团体。
三、奖项设置
（一）奖项名称
“中国MEMS行业创业大赛”设置两个奖项：“2020年度中国MEMS产业最具投资价值奖”、“2020年度中国MEMS产业创新产品奖”。
每个奖项从10个进入决赛的企业/团队/产品中各评选出一等奖1名，二等奖2名，三等奖3名。
（二）参赛要求
“2020年度中国MEMS产业最具投资价值奖”参赛要求：MEMS产品收入5000万元以下，非上市公司，社会信誉良好，无不良记录，无知识产权纠纷，从事MEMS产品研发设计、流片、中试、封装测试、量产或下游应用等产业链环节的中小型企业/团队。
“2020年度中国MEMS产业创新产品奖”参赛要求：近2年内研发成功的（或2年内年推出的新版本较之前版本有重大改进的）、具备自主知识产权的、有独特技术优势的、已成功流片的MEMS产品，包括但不限于力学、电学、磁学、热学、光学、声学、化学、生物、打印头、射频等产品。
（三）评选标准
参赛企业/团体须在2个奖项中二选一，不可同时选报。企业和团队按附件分别进行填报。每个企业最多可填报2个产品参评“2020年度中国MEMS产业创新产品奖”。
“2020年度中国MEMS产业最具投资价值奖”评选标准：产品技术、商业模式、市场前景、核心团队、财务状况等指标。
“2020年度中国MEMS产业创新产品奖”评选标准：技术的先进性和独创性，包含但不限于先进的性能指标，创新的原理、结构设计、工艺、材料、终端应用等；填补市场空白，在细分领域独树一帜，有效替代同类进口产品，具备广阔的市场前景。
（四）大赛奖励
1. 优胜奖
- 大赛为获奖企业提供现金奖励，一等奖100000元，二等奖30000元，三等奖10000元。
- 针对赛后成功落户苏州工业园区的获奖企业提供“苏州工业园区科技领军人才政策”申报绿色通道，进入最终轮面试。最高可获得1000万元成长奖励、1000万元股权投资、500万元创业启动资金、100万元产业化奖励、500万元三年期贷款支持、50%贴息贷款、购房补贴项目、三年房租减免等多项优惠政策（具体以执行奖励时的政策为准）。
2. 入围奖
- 展位奖励：大赛对所有入围企业奖励 “2020中国国际微纳制造与传感器展”9平米标准展位1个。
- 培训奖励：中国半导体行业协会MEMS分会培训班入班名额2人，有效期2年。
- 流片补贴和洁净房租赁补贴：获得入围奖且赛后成功落户苏州工业园区的企业可获得最高100万元的流片补贴。MEMS产品在苏州工业园区公共平台上进行流片可享受40%价格给予补贴；MEMS企业使用园区内公共开放的高等级洁净房（等级为1000级、100级），经审核后每家企业租金补贴最大不超过100元/月/平方，不超过三年（具体以执行奖励时的政策为准）。
四、时间节点
五、大赛评委和评分机制
大赛评委由“专业投资人评委+技术专家评委”构成，共计8人。专业投资人评委来自重点关注MEMS产业的著名投资机构，如华登国际、元禾等。技术专家评委来自国内外MEMS制造机构，如中科院纳米所、MEMSRIGHT等。
入围评审：为保证公平公正，企业提交的参赛方案经匿名化处理后，交由专家匿名评审，每个奖项选取前10名（2个奖项共入围20名）进入决赛。
决赛打分：决赛实行“路演+答辩”形式，每位参赛者路演7分钟，答辩3分钟，经专家打分后取平均分，下一位参赛者路演前公布最终得分。
