“智能传感器”是一个非常分散甚至被滥用的术语。现在技术领域的几乎所有事物都可以加上“智能”这个前缀。此外，由于智能传感器越来越多地基于微电子设备的集成，因此在大多数专业文献中普遍接受的定义是：
一般来说，智能传感器一词是在20世纪80年代中期提出的，而“智能”一词则是由于集成了微控制器单元（MCU）、数字信号处理器（DSP）以及其他设备所需的智能，以及应用专用集成电路（ASIC）技术，通过积极研究控制系统输入和输出侧的智能硅器件而开发。后来，这个术语的含义被扩展到了微机电系统（MEMS），用来描述用半导体制造工艺制造传感器和执行器的结构。
且从80年代末期到90年代中后期，随着单片机技术的发展，将单片微处理器嵌入传感器中实现温度补偿 、修正 、校准，同时A/D变换器直接将原来的模拟信号转换为数字信号 ，也让传感器更智能。
之后随着PC与信息化技术的兴起，智能传感器产品开始出现及进入商业化——智能化测量技术有了进一步的提高，在传感器一级水平实现智能化，使其具有自诊断功能、记忆功能、多参量测量功能以及联网通信功能等。
进入21世纪后，人类全面步入信息时代，从一定意义上讲，也就是进入了传感器时代。
由于MEMS技术、低能耗的模拟和数字电路技术、低能耗的无线射频(RF)技术、传感器技术的发展，使得开发小体积、低成本、低功耗的微传感器成为可能。这种微传感器一般装备有：一个用于感知外界环境物理量的敏感组件(如压力、温度、湿度、光、声、磁等)，一个用于处理敏感组件采集信息的计算模块，一个用于通信的无线电收发模块，一个为微传感器的各种操作提供能量的电源模块。我们称之为 “智能网络化传感器”。
同时，物联网大时代催热智能传感器。
物联网(IoT)是把任何物品与互联网连接起来，进行信息交换和通讯，以实现智能化识别、定位、跟踪、监控和管理的一种网络。简而言之，物联网就是“物物相连的互联网”。传感器作为物联网三大层次结构之一的感知层的重要组成部分，将现实世界中的物理量、化学量、生物量等转化成可供处理的数字信号，是实现物联网的基础和前提，同时MEMS(微机电)技术作为支撑技术，在物联网的发展中起着至关重要的作用。
随着人类步入智能时代，物联网将驶入快车道，作为物联网的基础和核心以及数据的入口，智能传感器产业将随之被引爆。
据MRFR分析，到2023年，全球智能传感器市场预计将从2017年的180亿美元增长到472.0亿美元，在预测期间的复合年增长率（CAGR）为18.20％。
目前推动智能传感器市场增长的主要因素是传感器在消费电子，汽车，物流，国防和医疗保健等各种垂直行业中的越来越多的使用。
比如，在智能手机、机器人、无人机、AR/VR设备和智能可穿戴设备等消费电子里应用了大量的智能传感器。
智能手机中比较常见的智能传感器有距离传感器、光线传感器、重力传感器、指纹识别传感器、图像传感器、三轴陀螺仪和电子罗盘等；智能传感器作为机器人的“五官”，在采集外界信息数据上发挥着重要作用；AR/VR需要用到大量用于追踪动作的传感器，比如FOV深度传感器、摄像头、陀螺仪、加速计、磁力计和近距离传感器等；无人机的智能飞控系统需要用到各种智能传感器，包括IMU、MEMS加速度计、电流传感器、倾角传感器和发动机进气流量传感器等；可穿戴设备最基本的功能就是通过传感器实现运动传感，包括MEMS加速度、心率传感器、陀螺仪、MEMS麦克风和脉搏传感器等。
再比如在汽车领域，智能汽车与自动驾驶的火爆让智能传感器快速打开市场。
在智能汽车时代，主动安全技术成为备受关注的新兴领域，需要改进现有的主动安全系统，比如侧翻（rollover）与稳定性控制（ESC），这就需要MEMS加速度传感器和角速度传感器来感测车身姿态。MEMS传感器在汽车领域还有很多应用，包括安全气囊（应用于正面防撞气囊的高g值加速度计和用于侧面气囊的压力传感器）、汽车发动机（应用于检测进气量的进气歧管绝对压力传感器和流量传感器）等。
