1、检查高压箱内电路，拆除高压电缆，用示波器检测TM7端子（图4）波形稳定性，加速电压增加过程中，暗电流基本变化符合标称值，反复升压降压持续一段时间，均未发现电子束闪动和暗电流增加情况，基本排除高压箱内部放电故障。
2、检查电子枪系统，先更换新灯丝，对灯丝架和文氏帽进行清洗，重新安装。检查发现高压电缆与电子枪外壳接触端部表面有放电痕迹，将放电痕迹清洗并清除掉，并在端部表面均匀涂敷绝缘硅胶。电子枪安装后复原后，开机升压电子束仍然不稳。继续检查电子枪其他部件，检查到电子枪导入部和灯丝交换部发现表面有污渍，并伴有放电现烧焦状。
将电子枪固定座拔出后发现外表导电胶固化不均匀，且发现有粉末状附着物。将放电污渍及粉末彻底清洗，将电子枪固定座重新涂敷导电胶后，重新安装电子枪。将离子泵和镜筒烘烤完毕后，升压至80KV暗电流仍偏大，20分钟后电子束发生闪动。
3、检查加速管电路，用兆欧表测的加速管分压电阻为500MΩ～600MΩ（正常为800MΩ）偏低，更换新分压电阻。继续检查发现电子枪引入高压电缆的接线柱绝缘子上有放电痕迹，将放电痕迹清除掉，再将电子枪重新装配好。开机抽真空，加电压，并观察暗电流变化，80KV加束流未发生电子束闪动，100KV也未发生电子束闪动，且暗电流均为正常。工作一段时间后未发现异常，升压至180KV工作正常，未出现闪动现象。由此证明，电镜电子束闪动故障已排除。
小结：经更换灯丝及分压电阻，并彻底清洗了高压电缆相关部件的放电痕迹，排除了故障。分析原因暗电流增加是加速管分压电阻减小所致，系统多处放电是造成闪动的祸根。
图5 JEM-2000EX高压箱部分电路（TM7高压端子）示意图
故障十（JEM-2000EX）
【故障现象】：
电镜在170KV状态下正常，在降至160KV（未关闭电子束）过程中，听到高压方向有一响声，随即束流下降至19μA（正常为80μA），显示屏显示为160KV，立即停机。休息一段时间后，重新开机，从20KV开始升至40KV，束流指示从10μA升至19μA，过程稳定，继续升高压，束流指示不再发生变化。
【故障分析】：
结合电路分析，故障可能出现的部位有计算机控制系统，束流测试系统，高压发生器系统。
【故障排除】：
1、计算机控制系统，计算机荧光屏显示高压值随升压开关波动而升高，但实际上计算机控制给出的振荡系统的电压并未升高，用万用表测量计算机设定值电路板HT STAB PB的TM4（MT ES）对地电压，每升高2KV，该点电压呈线性比例对应升高0.15V，说明计算机高压值设置系统工作正常。
2、束流测试系统，计算机控制输出电压受高压箱内反馈电压作用并输送给高压发生器，高压发生器振荡电压送至高压箱内变压器。用万用表测高压发生器电路板HT OSC PB的HT PS点对地电压，从20KV到40KV升高过程正常，继续升高计算机显示屏显示电压918V不再升高。拔下高压电缆和反馈线后转换开关S1至手动方式M（正常为自动方式A）重新测量，结果电压不再受反馈信号作用，可以正常升高，说明束流测试系统正常，高压供电电压正常。
3、高压发生器系统，打开高压箱检查高压箱内RC滤波部件正常，用兆欧表逐个检查高压变压器输出倍压整流高压硅堆，发现最高一级的一只高压硅堆参数不稳定，同时发现高压箱内有放电斑点，证实故障可能在高压箱内。更换一只新高压硅堆，并清除掉放电斑点，再用石油醚将高压箱内不彻底清洗一遍，烘干充入氟利昂保护气，开机电镜恢复正常运行。
小结：打开高压箱要慎重，高压箱一般情况下尽量不要打开，非要打开时一定要按操作规程进行操作，注意操作安全，绝对保持高压箱内清洁，工作环境要做好防尘和除尘处理。
5、其他系统
故障一（JEM-1200EX）
【故障现象】：
仪器在正常观察中，由于天气打雷闪电引起突然停电，再开机时发现打印机不停输送打印纸，其他均未发现异常。
【故障分析】：
从故障现象看，故障在打印机系统，或打印机相关的驱动电路及打印机街口单元。按下键盘打印键，打印功能完全显示在显示屏上，由此判断电镜打印功能是正常的。
【故障排除】：
关闭打印机接口电路板的电源，打印机仍然不停地送纸，从而判断故障出在打印机本身，故障发生在打印机驱动电路板（PTR DRVER PB），通过对电路的分析，故障极有可能出现在马达驱动电路上，而马达驱动电路又由三个三极管TR15、TR16、TR17（2SA1051）组成。用万用表分别测量三个三极管，结果发现TR17的CE间被击穿短路，由于无同型号三极管，故用2SA733替换2SA1051更换后，打印机恢复正常功能，故障排除。
故障二（JEM-1200EX）
【故障现象】：
