全双端口SOLT校准包括开路、短路、负载和直通4种校准标准，4种标准分别对应4种片上的校准件（如图9所示）。以开路校准为例，在显微镜中定位开路校准件，扎下探针，点击如图8所示校准界面的[开路]，弹窗中点击 [PROBE(OPEN)]，完成后发出提示音表示此标准校准完成，[开路]变为绿色。端口2的[开路]校准方法同上。 [短路]、[负载]和[直通]均按此方法依次校准。
图9 片上的4种校准件
（5）保存校准数据
校准完成后，矢量网络分析仪可保存.cst校准文件方便回调。
（6）校准后系统验证
为验证校准结果的准确性，校准后测量校准片上的其它校准件，结果如表2所示。验证系统结果表明：系统已被校正完成，可以进行测试。
表2 校准后系统验证
注意：
矢量网络分析仪开机后要预热充分使系统稳定，否则校准或测试结果可能产生漂移；
安装探针与矢量网络分析仪的连接电缆时，连接要可靠且电缆线尽量固定，保证测量过程中不发生移动；
探针为易损件且价格昂贵，在测试过程中应避免磕碰；
在扎下探针时，力度要控制在合理范围内。力度太轻容易造成测量不稳定，太重则会缩短探针寿命，甚至损坏探针；
任何调整探针位置及姿态的操作都要在探针与测试件分离的情况下进行。
2.3 测试
校准完成，开始对被测件进行测试。
（1）定位被测件
载物台的控制旋钮如图10所示。拉起安全压杆，将校准片从载物台上移除，放置被测件，放下安全压杆。图中X、Y和θ三个旋钮可分别调节载物台的X、Y和θ方向，其中θ是载物台绕Z轴的旋转角。平移载物台，使显微镜中可观测到被测件，被测件如图11所示。
图10 探针台移动旋钮所在位置
图11 被测件
（2）测试结果
将左右探针分别扎入被测件中间和右侧的PAD上，扎针力度控制在合理范围内。从矢量网络分析仪中读取测试结果如图12所示，测试结果包含S11、S21、S12和S22。通过[光标]键设置光标至关心的频率点，可得到此频率点的S参数。
图12 被测件S参数测试结果
（3）保存结果
选择[文件]→[另存为]，屏幕图像可保存为.png或.jpg文件，数据可保存为.s2p或.prn类型文件。保存数据时，有“对数相位”、“线性相位”和“实部虚部”三种格式，本文选择[定义数据存储]→[对数/相位]，保存数据文件。
（4）测量结束
保存完成后，将探针与被测件分离，抬起安全压杆，拉出载物台，取出被测件。小心取下探针，关闭探针台和矢量网络分析仪，整个测量过程结束。
(中电科思仪科技股份有限公司 李宇阳、杨保国供稿)
