气电转换器工作
图6一电感测微仪工作原理方框图气电组合测t仪具有许多优点。其最小尺寸分辫率为0.1微米，信号稳定性为2微米/8小时，测量性能可靠，操作使用方便，适用范围广，既适用于大批量生产测量，又适用于刁嗽t生产测量。但气电组合量仪的价格较贵，所以目前主要使用在成批生产的测量中.可以相信，随着我国电子工业、电子仪表制造业和检测量具工业的发展，这种气电组合量仪将会被广泛应用.时，气流经过滤器和稳压器形成清洁稳定的压缩空气流送入气电转换器内(如图5中箭头所示)，进入的气流分为两路，一路经喷嘴l进人波纹管3的内腔，经由排气喷嘴7排入大气中;另一路经进气喷嘴2进人波纹管3的外腔，从测量喷嘴6喷出。由于工件被测尺寸的变化，测量喷嘴与工件之间的间隙也发生变化，从而改变了波纹管3内外腔原来调定的空气压力差，使波纹管3沿轴向产生伸缩，并带动磁芯4位移，使感应线圈5中的电感量发生变化，电感量的变化被送到电感测微仪中。由于波纹管在气压微小变化的作用下也会产生伸缩，因此测量灵敏度高，测量精度也高。
为了将电感量的变化进行逻辑运算处理，并将处理结果用数字显示出来，气电组合量仪将两个气电转换器的电信号输出端同时接入一个数显电感测微仪输入端中运算处理，由仪器将测量结果用数字显示出来。电感测微仪工作原理方框图如图6所示。
气电组合测量仪具有许多优点。其最小尺寸分辫率为0.1微米，信号稳定性为2微米/8小时，测量性能可靠，操作使用方便，适用范围广，既适用于大批t生产测量，又适用于小批量生产测量。但气电组合量仪的价格较贵，所以目前主要使用在成批生产的测量中.可以相信，随着我国电子工业、电子仪表制造业和检测量具工业的发展，这种气电组合量仪将会被广泛应用.
