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NEC开发全球首款碳纳米管非制冷红外图像传感器


  来源: 麦姆斯咨询 时间:2023-04-21 编辑:仪器仪表WXF
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日本电气(NEC Corporation)近日宣布,其成功开发出了世界上首款采用高纯度半导体碳纳米管(CNT)的高灵敏度非制冷红外图像传感器。该传感器采用了NEC专有的半导体CNT提取技术,NEC计划将于2025年实现这款非制冷红外图像传感器的实际应用。


超高灵敏度!NEC开发全球首款碳纳米管非制冷红外图像传感器


红外图像传感器将红外线转换为电信号以获取必要的信息,因此,即使在黑暗中也能够检测到人或物体发出的红外线。目前,红外图像传感器已经广泛应用于各个领域,以提供安全可靠的社会基础设施,例如支持汽车在黑暗中行驶的夜视系统、飞机导航支持系统以及安防摄像头等。


红外图像传感器可以分为两大类,一种是在极低温度下工作的“制冷型”,另一种是接近室温工作的“非制冷型”。制冷型红外图像传感器具有高灵敏度和响应性,但需要大尺寸、高成本、高耗能及定期维护的冷却器。相比之下,非制冷型红外图像传感器不需要冷却器,这使其紧凑、经济、功耗低,但与制冷型相比,存在灵敏度和分辨率较差的问题。


 (左)单壁CNT的电子显微照片和图像,(右)高纯度半导体CNT薄膜的原子显微镜图像

(左)单壁CNT的电子显微照片和图像,(右)高纯度半导体CNT薄膜的原子显微镜图像


NEC在1991年全球首次发现了CNT,现已成为纳米技术领域研发的领导者。2018年,NEC开发了一项专有技术,能够从混合金属和半导体类单壁CNT中提取高纯度的半导体CNT。NEC随后发现,用该技术提取的半导体CNT薄膜在接近室温时具有较大的电阻温度系数(TCR)。


新开发的红外图像传感器就是基于这些成果和技术的结晶。NEC基于其专有技术应用了半导体CNT,具有高TCR(高灵敏度的重要指标)的特点。因而,相比采用氧化钒或非晶硅的主流非制冷红外图像传感器,这款新型传感器的灵敏度达到了前者的三倍以上。


这款新器件结构的实现,结合了非制冷红外图像传感器中使用的热分离结构,以及用于实现该结构的MEMS技术,再结合NEC多年来为印刷晶体管积累的CNT印刷和制造技术。基于此,NEC通过结构组件排列,成功验证了这款640 x 480像素的高清非制冷红外图像传感器。


(左)器件结构,(右)CNT红外阵列器件照片


这项成果的一部分通过与日本国立高级工业科学技术研究所(AIST)合作完成。此外,这项成果还得到了JPJ004596的支持,这是一项由日本防卫省采购、技术与后勤局(ATLA)开展的安全技术研究促进计划。


展望未来,NEC将继续研发红外图像传感器技术,实现可为社会各领域做出贡献的产品和服务。

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