MEMS孵化器已建成10万平方米，形成稳定的45个单项工艺和17个产品工艺流程。国家高新区MEMS研究院成立了国内MEMS领域15名顶尖专家组成的专家委员会，负责高精度陀螺仪、MEMS继电器和加速度计等器件研发，引领平台的发展方向及工艺评审。去年9月份，清华大学、同方股份、淄博高新区三方达成战略合作协议，研究院建设、平台发展、基金设立、项目落地、产业园区建设等协议内容的各项工作正在快速推进。高新区将在现有加工设备条件和环境下，开展MEMS制造技术封装与装配过程中关键技术的研究和开发，真正解决其关键技术形成核心发明专利，为进一步的产业化奠定良好的知识产权基础。
关键词:MEMS传感器产业化 中国制造2025 重大标志性项目 仪器仪表 浏览量：647
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