近期，中国科学院合肥物质科学研究院固体物理研究所微纳技术与器件研究室的微纳气体传感器研究团队在高性能气敏器件的宏量制作及其生化战剂检测应用研究方面取得了新进展，相关研究成果已发表在国际期刊《化学通讯》和《科学报告》上
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半导体氧化物电阻型薄膜气体传感器，由于其成本低廉、制作简单及使用方便等优点，在许多领域有着广泛的应用。而发展用于高端领域的质优价廉的高性能气敏器件，一直是人们所追求的目标与面临的挑战。近年来，固体所研究人员与中科院上海微系统与信息技术研究所的相关课题组合作，针对这些问题，提出了一种微纳融合的策略，将基于有机模板的微/纳结构有序多孔薄膜与基于微电子机械加工（MEMS）技术的微型基板相结合，成功地研制出高性能电阻型薄膜气敏器件，获得了秒级快响应、痕量检测限与10毫瓦级低功耗等优越的器件性能，相关成果发表在《科学报告》（Sci. Rep. 2013, 3, 1669）上。
微/纳米结构器件的实用化，仍然是当前纳米科技研究的一大难点，主要原因是制作成本较高。为此，双方围绕着制作低成本高性能器件这一目标进行技术攻关，结合两个研究组在晶圆级MEMS加工工艺和大面积有机模板制作技术的特长，提出了一种新型的晶圆级高性能气敏器件的制作策略，即采用布满MEMS基传感芯片的硅晶圆片作为衬底，基于模板转移-溶液浸渍法，将晶圆大小的高质量有机模板转移其上，以期一次获得大量MEMS基气敏器件。
图1. 晶圆级高性能气敏器件的宏量制作技术方法
