该中试线由清华大学、淄博高新区MEMS研究院和国高(淄博)微系统科技有限公司共同完成。已具备MEMS陀螺、加速度计、继电器/开关器件标准中试代工初步能力，完成45个单项工艺和19个产品工艺。
7、广州奥松电子——6吋MEMS半导体传感器芯片生产线
2020年，广州奥松电子有限公司（简称“奥松电子”）6吋MEMS半导体传感器芯片生产线正式投入运营，成功量产出温湿度、流量、气体、差压、风速等传感器芯片。
奥松电子MEMS半导体生产线一期工程为500纳米MEMS半导体工艺制程，生产设备约占整个投资规模的70%。根据规划，2021年二期工程将建成350纳米制程工艺MEMS半导体生产线；2022年三期工程将建成180纳米制程工艺MEMS半导体生产线；总项目全部建成投产后，每月流片规模将达到4万片，满足奥松电子自身需求及粤港澳大湾区各类MEMS半导体芯片的代工需求。
8、赛微电子——8吋MEMS国际代工线
赛微电子于2016年收购全球MEMS代工厂中排名第二的瑞典Silex，可生产加速度传感器、惯性传感器、流量传感器、红外传感器等多种MEMS传感器，光学器件、生物器件、硅麦克风等多种MEMS器件，以及各种MEMS基本结构模块。瑞典产线在 2017-2020 年进行了超过 3 亿元人民币的资本投入，2020 年 9月，瑞典原有 6 吋产线（FAB1）升级切换成 8吋产线，合计 MEMS 晶圆产能提升至 7,000片/月的水平。
图：赛微电子董事长总经理杨云春手持北京FAB3生产的8吋MEMS麦克风晶圆
获得对Silex的控股后，赛微电子在北京建设了MEMS晶圆代工厂，以扩大该公司的产能。2021年6月10日正式启动量产，北京 MEMS 产线的建设总产能为 3 万片/月。
9、中芯集成电路制造（绍兴）——8吋MEMS生产线
2018年3月1日，中芯绍兴项目举行签约仪式，项目首期投资58.8亿元人民币。2018年5月18日，中芯绍兴8吋厂房项目举行奠基仪式。2019年11月，绍兴的生产线顺利投产，2020年在绍兴举办的集成电路产业峰会上，中芯介绍称，绍兴的产能达到每月4万片。中芯国际的MEMS方案主要集中在MEMS麦克风、加速度计、陀螺仪、压力、显微镜、超声波传感器、射频器件。
10、华润微电子——6吋、8吋MEMS生产线
华润微电子MEMS产线是国内规模最大的与CMOS生产线兼容的MEMS传感器量产生产线，并已自主研发多套具有国内领先水平的 MEMS 表面和体硅加工技术，用于制造压力、硅麦克风、光电、温湿度等MEMS传感器。
公司IPO募投项目中，8吋MEMS的3000片/月产能扩充已经完成，可以投入使用。公司光电及MEMS麦克风工艺平台从6吋升级到8吋，实现批量生产，产品性能及良率水平优秀；整体提升了公司MEMS工艺技术水平和竞争能力。
11、华虹宏力——8吋CMOS-MEMS制造平台
华虹宏力工艺技术覆盖1微米至90纳米各节点，在标准逻辑、嵌入式非易失性存储器、混合信号、射频、高压、图像传感器、电源管理、功率器件工艺等领域形成了具有竞争力的先进工艺平台，并正在建立微机电系统（MEMS）工艺平台。
华虹宏力在8吋CMOS-MEMS制造平台上，成功实现了MEMS器件与标准CMOS工艺及生产线的全兼容，可为客户提供单芯片集成CMOS-MEMS体硅和表硅工艺。已流片的产品包括磁力计、加速度计、压力传感器等。
12、上海先进（并入积塔半导体）——MEMS生产线
上海先进（并入积塔半导体）是国内最早从事汽车电子芯片、IGBT芯片和MEMS芯片制造的企业。目前，拥有5吋、6吋、8吋晶圆生产线和MEMS独立生产线各一条，专注于模拟电路、功率器件和MEMS芯片的制造。
2011年9月MEMS生产线建成三轴陀螺仪工艺平台（就是手机上用方向传感器）。其MEMS 生产线可以代工的器件包括：三轴陀螺仪、加速度计、生物MEMS芯片、光学MEMS、RF MEMS、微流体开关、压力传感器等，可被广泛应用于消费电子，医疗电子以及汽车电子等领域。目前，此MEMS生产线拥有世界最先进的深槽刻蚀、键合、硅片边缘修整等设备，设计月产量可达3000片。
