13、睿创微纳——8吋MEMS晶圆生产线
睿创微纳是一家专业从事非制冷红外热成像与MEMS传感技术开发的半导体集成电路芯片企业，2020年7月24日，与烟台开发区签署协议，建设一条8吋MEMS工艺线和一条化合物半导体工艺线，满足研发和中试要求。睿创微纳采用与晶圆代工厂共建产线的模式，8吋MEMS晶圆生产线已投入量产（非制冷红外热成像探测器芯片），产能达到每月1500片晶圆，可年产各类芯片360万颗。
14、河北美泰——6吋MEMS生产线
河北美泰拥有6吋MEMS生产线，主要产品有惯性、测试测量传感器、压力、汽车传感器、RF器件、光MEMS器件等。美泰科技的6吋MEMS生产线总投资超过1亿美元，是一个以生产高端MEMS产品为主的全新自动化产线。该新产线的月产能达到1万片。
图：美泰科技生产的6吋MEMS晶圆
15、罕王微电子—— 8吋MEMS生产线
罕王微电子作为国际一流的专注于MEMS传感器IDM制造商之一，拥有先进的8吋MEMS芯片产业化规模生产线，工艺能力涵盖MEMS芯片生产全流程。2016年，罕王微电子收购美信旗下MEMS传感器业务，2018年底 8吋MEMS生产线工程建设全部竣工，达产后可实现年产能36万片、30亿只MEMS芯片，可生产MEMS压力及应力、加速度、陀螺仪、流量、温度、湿度及气体等传感器。
16、西人马——8吋兼容6吋MEMS智能传感器芯片产线
西人马公司泉州MEMS芯片及传感器生产线车间，配备8吋向下兼容6吋的MEMS智能传感器芯片产线和中国先进的MEMS器件加工平台，拥有6000平方米的高等级洁净车间，具备深硅刻蚀、键合、光刻、原子力显微镜、扫描电镜等先进的制造、封装与检测设备，具备一体化的量产能力。
产品包括高精度硅压力传感芯片、中温和高温压力芯片、陀螺仪芯片等。西人马已经成为国内MEMS领域IDM芯片公司的鳌头，红外和压力传感器每日产量可以达到几十万颗。
17、诺思微系统——6吋MEMS晶圆生产线和4吋工艺研发线
诺思微系统是一家从事无线通信射频前端MEMS芯片、模块应用方案设计研发生产销售的高科技公司。已投产一条6吋的MEMS晶圆生产线和一条4吋的工艺研发线，天津厂房和研发中心总占地面积2.7万平方米。采用硅衬底的微机电系统(MEMS)制造技术的FBAR射频滤波器，月生产能力达到3000万只芯片。
今年3月，作为国内唯一具备大规模量产交付能力的平台，诺思牵头国家重点研发计划“制造基础技术与关键部件”专项项目“硅基MEMS压电薄膜及器件关键技术与平台”正式启动，未来3年内诺思的量产产线将力争达到年产20亿颗芯片的产能规模，为解决高端射频滤波芯片的国产供应提供保障。
18、芯动科技——6吋MEMS生产线
浙江芯动科技有限公司创立于2017年4月，是一家专注高端MEMS代工的生产加工企业。拥有6吋MEMS芯片产业化生产线，工艺能力涵盖MEMS芯片生产全过程，可生产压力、加速度计、陀螺仪，光镜和生物医学等MEMS传感器芯片产品。2018年10月生产出首批产品。据此前相关介绍，芯动科技投产后，生产能力可达年产400万颗芯片，年产值可达4亿元。
据去年11月官方消息显示，芯动科技目前已投入1亿多用于产线的建设，计划联合资本方在未来2-3年投入5亿元人民币继续完善制造基地的相关设备设施。该基地目前建筑面积为3000平方米，是中国最先进的MEMS器件加工平台之一，具备芯片制造、封装测试等一系列的能力。
19、启泰传感科技——MEMS压敏传感芯片生产线
启泰传感科技作为传感器产业的龙头企业，坐拥6千多平方米、洁净度达100级的压敏芯片厂。MEMS压敏传感芯片生产线于 2019 年 1 月 16 日成功通线， 2019 年 8 月份实现批量生产，年产压敏传感芯片50万颗，第一期达产后可年产芯片600万颗。
