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MEMS传感器产业盘点:国内21条主流MEMS生产线最新情况


  来源: 感知芯视界 时间:2021-08-26 编辑:清风
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MEMS传感器从诞生到现在已经有40多年的历史,并且已经成为国内传感器企业争相追逐的目标之一。虽然国外先行一步,但是国内传感器企业和MEMS工艺主流生产线也在逐步浮出水面,且为国内MEMS产业发展助一臂之力。


下面盘点目前公开信息可查的本土主要的MEMS产线,涵盖晶圆代工厂和IDM产线的最新情况跟踪如下(排名不分先后):


1、上海微技术工研院——国内首条8吋“超越摩尔”研发中试线


2017年12月1日,上海微技术工业研究院(以下简称“工研院”)运营的8吋“超越摩尔” 研发中试线首款传感器产品获得验证通过,正式宣告研发中试线通线成功。


图:上海微技术工研院8吋 “超越摩尔” 研发中试线


研发中试线着重开展表面硅、体硅、3D微纳加工工艺的开发,并根据“超越摩尔”产品和技术特点部署MEMS、硅光子、射频、硅基III-V族、3D集成、MR磁、功率及生物等相关工艺和量测设备,提供全方位的产品研发、小批量生产、技术培训、设备验证等服务,月产能5千片。


2、苏州纳米城——6吋MEMS中试线


该中试线是江苏省“十二五”重大科技平台项目。2014年9月正式运营,为我国中小MEMS企业的发展带来福音。超净场地、厂务配套设施、研发实验室、公共服务等场地共16000平方米,其中超净工艺场地5200平方米。


其主要开展MEMS产品工艺研发、MEMS加工、部分封装测试、专利运营、设备租赁、超净场地租赁、工艺技术培训等十多项专业服务,目前已成功导入压力传感器、微镜传感器、微流体传感器等产品。


3、苏州纳米所——纳米加工平台


纳米加工平台适用于微纳电子、光电子器件、微纳光机电系统、各种传感器和生物芯片等研制开发。针对应用基础和具有应用前景的科学与技术研究,集微米、纳米加工和检测手段于一体,具有先进的、有特色的加工装备的研究基地;具有孵化器功能,为企业全方位开放的服务体系。


约5000平方米的洁净间,包括百级和千级面积,以及150多台各种微加工设备,最小加工特征线条尺寸10nm,兼容6英寸-4英寸-2英寸-不规则小片,提供器件设计和工艺加工的全套解决方案。


4、中科院微电子研究所——8吋MEMS中试线


2016年,中科院微电子所建立了MEMS研发平台,其8吋MEMS中试线工艺稳定性达到98%;针对三轴重力加速度计、基于氧化钒的红外图像传感器、医用CT中X-ray探测、基于薄膜体声波滤波器(FBAR)、MEMS红外探测器等产品。该MEMS中试线可灵活、高效地对外提供特种工艺和小批量生产服务及详细工艺方案。


5、中科院上海微系统所——MEMS生产线


上海微系统所传感技术联合国家重点实验室从1987年成立至今,一直以来以微电子技术和微纳加工技术为基础开展各类微纳传感器和微系统的研究工作。在国家重点实验室的1600平方米净化实验室中,实验室以双面光刻机、硅片键合机、DRIE硅深刻蚀机等为基础开发了体微机械加工技术除了在芯片上的集成制造,实验室开发了传感器先进封装技术。


在4吋芯片微纳加工线上,实验室还配有各种在线和离线微纳制造表征测试设备:包括各种微纳瓷都的膜厚、台阶、应力、红外三维成像等等在线制造检测设备,也包括冷场发射高分辨扫描电镜、普通透射电镜的基础部分等离线制造表征设备,它们可以有效地为MEMS/NEMS技术的开发提供有监控手段。


6、淄博高新区——6吋MEMS中试线


作为国内首条6吋硅基MEMS中试代工平台于2016年5月17日通过国家质量管理体系认证,并于2016年6月20日通过教育部成果鉴定,鉴定成果为国际先进。MEMS平台投资1.6亿人民币,厂房面积4996平,洁净面积达1500平,超净面积和规模位居山东省、全国前列。


关键词:MEMS 传感器 生产线    浏览量:12828

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