当前位置: 首页 » 技术方案 » 前沿科技 » 正文

中国科学院研发具有零待机功耗的灵活压阻式柔性压力传感器


  来源: 传感器专家网 时间:2020-05-08 编辑:清风
分享到:



近年来,柔性压力传感器件因在人机交互、电子皮肤、智能可穿戴等领域的广泛应用而越来越受到产、学、研界的关注。然而,当传统的柔性传感器件应用在真实柔性基底场景中,由于器件弯曲引起的沿着法线方向上的垂直应力会产生“伪信号”,因而如何确保最终器件性能的可靠与稳定性依旧是一项相当迫切的需求。此外,实现更宽动态线性量程的同时通常会以牺牲器件灵敏度为代价,反之亦然,如何通过结构的设计以及材料选择解决器件灵敏度与动态线性量程范围之间的平衡问题仍然是一个不小的挑战。

为解决以上问题,中国科学院深圳先进技术研究院材料所(筹)光子信息与能源材料研究中心副研究员陈明、研究员杨春雷及其合作者提出了两种解决方案: 


基于柔性压力传感器件的有限元分析

 

研究人员利用传统微纳加工工艺、真空镀膜技术和激光划线工艺制备出顶部为微圆台结构的聚二甲基硅氧烷(PDMS)/掺铝氧化锌(AZO)、间隔层为光刻胶(PS)和底部叉指电极为聚酰亚胺(PI)/金(Au)的柔性压力传感器。所制备的器件拥有高达2200 kPa-1的灵敏度、宽达9.6 kPa的动态线性量程范围,快至低于20 ms的上升和下降响应时间等优异性能。研究人员还进一步从理论角度阐明了器件在外界压力作用下的工作机理和内在压力分布,解释了PS间隔层中空穴直径大小、导电层微结构与最终器件灵敏度、动态线性量程范围和灵敏阈值等性能的关系。

陈明博士说:“在我们以前的工作中,粗糙结构的设计极大地帮助提高了压力传感器的灵敏度。在这项研究中,PDMS / CB和LIG叉指电极的分层结构和足够的粗糙度被用来提高综合性能此外,PI隔离层的设计使该器件在零压力下具有零功耗的可能性,”

这项工作展示了一种通过低成本工艺制造具有综合性能的柔性压力传感器的新方法。

除此之外,研究人员还设计了一种基于聚二甲基硅氧烷(PDMS)/碳黑(CB)、图案化的聚酰亚胺(PI)间隔层和激光诱导石墨烯(LIG)叉指电极的高性能,待机功率损耗为零的柔性压力传感器。所制备的柔性压力传感器具有高灵敏度(43 kPa-1)、宽线性响应范围(0.4~13.6 kPa)、快速响应(<30 ms)、长期循环稳定性(>1800个周期)和在某些弯曲条件下(弯曲角度:0~5°)还具有待机零功率损耗等性能。研究人员还在实验上和理论上研究了PI间隔层的孔径对柔性压力传感器性能的影响。上述工作由联合培养硕士研究生何可、易成汉和硕士研究生侯玉欣等共同协作完成。


关键词:压力传感器 柔性压力传感器 柔性传感器    浏览量:965

声明:凡本网注明"来源:仪商网"的所有作品,版权均属于仪商网,未经本网授权不得转载、摘编使用。
经本网授权使用,并注明"来源:仪商网"。违反上述声明者,本网将追究其相关法律责任。
本网转载并注明自其它来源的作品,归原版权所有人所有。目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。如有作品的内容、版权以及其它问题的,请在作品发表之日起一周内与本网联系,否则视为放弃相关权利。
本网转载自其它媒体或授权刊载,如有作品内容、版权以及其它问题的,请联系我们。相关合作、投稿、转载授权等事宜,请联系本网。
QQ:2268148259、3050252122。


让制造业不缺测试测量工程师

最新发布
行业动态
技术方案
国际资讯
仪商专题
按分类浏览
Copyright © 2023- 861718.com All rights reserved 版权所有 ©广州德禄讯信息科技有限公司
本站转载或引用文章涉及版权问题请与我们联系。电话:020-34224268 传真: 020-34113782

粤公网安备 44010502000033号

粤ICP备16022018号-4